真空状态下的气体流动.pdf

第三章 真空状态下的气体流动 （初稿） 3.1 气体流动过程的基本物理量 在实际真空技术应用过程中，我们所面临的第一个问题就是把气体从真空室 排去，所以对气体在系统中的流动性要有所了解。而真空系统的许多排气泵，不 同口径的连接管道，以及各种形状的真空室都会影响到系统的排气速率。因此研 究分析气体通过小孔和管道的流动，是我们设计真空系统的主要课题之一，同时 也是一些真空实验的理论根据。本章我们将介绍气体流动的特性，以及如何计算 气体流动速度和流导。首先我们了解一些气体流动过程的基本物理量。 3.1.1 体积流率 当管道里的气体两端存在压力差时，便 会出现气体自动从压力高的一端向压力低 的一端扩散,便形成了气体流动。为了计算 了解管道中流过的气体的多少，通常使用气 体的质量流率Sm（公斤/秒）和摩尔流率Sr （摩尔/秒），即单位时间内通过管道某一给 定截面的气体质量和气体摩尔数 。实际工 作中由于这两种流率不便测量而采用体积 流率。 体积流率是指在给定温度、压力下， 单位时间内流过管道或设备的任一截面上的气体体积。体积流量通常用符号 Sv 3 表示，单位为：米 /秒。在气体压力为P的截面上，Sv与Sm和Sr的关系为： P ⋅M P Sm ⋅Sv 和 Sr ⋅Sv R ⋅T R ⋅T 式中：M——气体摩尔质量kg/mol；R——普适气体常数，R＝8.31J/mol ·K T——温度℃；P——压强Pa； 3.1.2 气体流量 什么是气体流量？在单位时间内通过给定截面的气体数量，称之为气体流 量，用Q表示。由于气体是可以压缩的流体，所以流过的气体不仅和流过的体积 有关，而且和其压强即气体密度n=N/V有关,气体流量也可以认为是单位时间内， 气体分子 N 以流率 s 通过给定管道横截面 A 的分子数量。这种关系定义在真空 科学与技术领域也可以用泵的抽速表示： 3 N A ⋅v ⋅n S ⋅n S ≡A ⋅v (m /s) 根据流量定义，泵对真空系统的抽气速率也可以用真空泵的抽速来衡量。 通常泵的抽气速率是指真空泵单位时间内所能排除的气体体积，但并非是实际的 气体数量。在泵的入口压强下，每单位时间泵从系统排除的气体数量称为泵的抽 速： Sp dV / dt Q / p dV Q P ⋅ P ⋅Sp dt 这里：V——单位时间气体体积；P——气体压强；Q——气体流量；t—— 抽气时间。 即泵的抽气量等于泵的抽气速率乘以压力。这才是单位时间内，真空泵从 真空室抽出的气体数量。换个方法来看，一真空室处于大气状态，我们用泵对其 排气，开始时由于压力高，排气量非常大，随着真空室气压减小，尽管泵的抽速 没有变，但是它的排气量随着真空室气压减小而降低。这就是真空室的压力从大 气压力降到低真空是很快的，但是接下来如果要想进入下一阶段真空环境，需要 花更多的时间才能达到。 3.1.3 流阻与流导 管道气体在管道中流动时，自然 会和管道内壁有碰撞而产生阻力。对真 空管道中流动的气体进行研究我们可 以发现，管道在没有漏气产生的情况 下，则在管道中任意截面，其气体的流 量处处相等。假设管道中任意两个截面 A 和A ，通过它们的气体流量、压力和 1 2 排气速率分别为：Q 、Q 、P 、P 、S 、 1 2 1 2 1 S2 ，我们有：