透明导电氧化物的原理问题与研究分析.PDF

前沿进展 * 、 透明导电氧化物的原理 问题与研究分析 王焕华昄 (中国科学院高能物理研究所 北京 ) 暋 暋100049 ( ) 、 、 摘 要 现代光电子产品和能源技术都大量使用透明导电氧化物 薄膜 由于太阳能电池 平板显示器 发光 暋 暋暋 TCO . 、 、 , 二极管 短波长激光器 节能玻璃窗等应用领域 日益增长的需求 薄膜获得了越来越广泛的应用 文章总结了 TCO . 、 , ( TCO薄膜的功能原理 应用需求和当前的研究方向 重点分析了 型 TCO薄膜研究所要解决的关键问题 其中包括 p , , ), , 掺杂非对称性 性能退化与缺陷的生成 结构和变化的关系 指出了 型 TCO薄膜制备的关键因素 研究的热点问 p 题和蕴藏的研究机会. , , , , , 关键词 透明导电氧化物 设计原理 型 型 缺陷 性能退化 暋暋 n p Transarentconductin oxides: p g , rinciles roblemsandanalsis p p p y 昄 WANG暋HuanHua 灢 ( , , , ) Instituteo HihEner PhsicsChineseAcadem o Sciences Beiin 100049China f g gy y y f j g Abstract暋暋Modern hotoelectronic roductsandener technoloieslarelexloittransarentconduc p p gy g gy p p 灢 ( ) , , tin ox