agito纳米颗粒复合薄膜的制备 微结构及光电性质表征 word格式.docxVIP

摘要本文采用直流磁控溅射技术在玻璃基体上制备了不同 Ag 含量的 Ag-ITO 纳 米颗粒复合薄膜，并在大气气氛不同温度下进行了退火处理。用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、透射电子显微镜和原子力显微镜分析了 复合薄膜的微观结构。X射线衍射分析表明：Ag-ITO纳米颗粒复合薄膜中，ITO 组分仍保持In2O3的体心立方结构，未观察到Ag的衍射峰；随着退火温度从 200 升高至 400℃，vol. 0.3%Ag-ITO复合薄膜中ITO组分的晶格常数从 11.75 减小到 11.71?，晶粒尺寸从 18.1 增大到 18.6nm；300℃退火后，随着复合薄膜中Ag含量 从vol. 0.3%增加到vol. 1.0%，ITO组分的晶格常数从 11.72 增加到 11.77?，晶粒 尺寸从 18.8 减小到 16.5nm。扫描电子显微镜分析表明：未退火的Ag-ITO纳米颗 粒复合薄膜表面由尺度为 30-40nm的颗粒构成，这些纳米颗粒尺寸分布均匀，这 与后面透射电子显微镜的分析结果一致。原子力显微镜分析表明：随着退火温度 从 200 升高至 400℃，vol. 0.3%Ag-ITO复合薄膜的表面平均颗粒尺寸从 35.6 增大 到 63.6nm；300℃退火后，随着Ag含量从vol. 0.3%增加到vol. 1.0%，Ag-ITO复合 薄膜的表面平均颗粒尺寸从 54.5 增大到 90.7nm。用X射线光电子能谱分析了薄膜的化学组分，结果表明：退火前后的Ag-ITO 复合薄膜中均只含有C、O、In、Sn和Ag元素而并无其他杂质存在；退火处理和 Ag组分的引入都有助于薄膜中的In和Sn元素更充分地氧化生成In2O3和SnO2；高 温退火可以促使薄膜中Ag或/和Ag2O进一步氧化生成AgO。用表面轮廓仪和椭偏解谱软件拟合透射光谱的方法分析了 Ag-ITO 复合薄膜 厚度，结果表明：拟合得到的膜厚与轮廓仪测量的膜厚一致性较好，复合薄膜的 厚度为 120-130nm。用紫外-可见光分光光度计分析了不同 Ag 含量的 Ag-ITO 复合薄膜在不同退 火温度下的透射谱，反射谱和吸收谱，研究结果表明：随着退火温度从 200 升高 至 400℃，vol. 0.3%Ag-ITO 复合薄膜的可见光平均透射率从 64.1 增大到 76.2%， 平均吸收率从 15.6 下降到 5.5%，平均反射率先从 20.3 增大 26.8 后减小到 25.8%； 300℃退火后，随着 Ag 含量从 vol. 0.3%增加到 vol. 1.0%，Ag-ITO 复合薄膜的可 见光平均透射率从 74.0 降低到 49.9%，平均吸收率从 5.2 上升到 40.2%，平均反 射率从 26.8 减小到 9.9%。采用椭偏解谱软件拟合透射光谱的方法分析了 Ag-ITO 复合薄膜在可见光范围内的光学常数，研究结果表明：随着退火温度从室温升高至 400℃，vol.0.3%Ag-ITO 复合薄膜在可见光范围内的平均折射率由 3.3 先减小到 2.8 后增大到4.8，平均消光系数由 0.08 先减小到 0.02 后增大到 0.04。 用四探针测试仪研究了 Ag-ITO 复合薄膜的电学特性，研究结果表明，随着退火温度从室温升高至 400℃，vol. 0.3%Ag-ITO 复合薄膜面电阻先从 210 减小到 34 后增大到 103?/?，这与 ITO 薄膜面电阻随温度的变化规律一致，且 Ag-ITO 复合薄膜的面电阻比 ITO 薄膜的面电阻低，表现出了良好的导电性能。最后， 我们根据效能因子和分光比综合评判了不同 Ag 含量的 Ag-ITO 复合薄膜的光电 特性，阐述了具有不同效能因子和分光比的透反射导电薄膜的适用原则。关键词：Ag-ITO 纳米颗粒复合薄膜，微结构，透射，反射，电学特性AbstractAg-ITO nanoparticle composite films with different compositions were prepared on glass substrates by DC magnetron co-sputtering deposition and annealed at different temperatures in air.X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), transmission electron microscopy (TEM) and atomic force microscopy (AFM) were employed to investigate the microstructure of the Ag-ITO nanoparticle composite film