9谐振传感器.ppt

图8.14 石英谐振式压力传感器的结构 与传感器配套实现数字测量的电路框图如图8.15所示。 图8.15 与传感器配套实现数字测量的电路框图 8.3.3 压电汞蒸气探测器 石英晶片的共振频率f因附加到其上的质量的增减而变化,即 式中,Δf是共振频率的变化(Hz),Δm是涂层吸附的附加质量(g),A是涂层面积(cm2)。由上式可知,如使晶片的涂层具有吸附某种气体成分的功能,则可通过测量共振频率的变化,得知该气体成分是多少。压电汞蒸气探测器是在石英晶片的电极上沉积金膜。金膜能吸收汞生成汞齐,是良好的检测汞的涂层材料。 一实验装置用9MHz的AT切石英晶片,用真空沉积法在电极上沉积金膜,装在晶体盒内,作为敏感元件。实验装置的框图,如图8.16所示。实验表明,空气中汞浓度在3ppb以下或吸附汞量在246ng以下,频率变化是线性的，如图8.17所示。 图8.16 实验装置的框图 图8.17 空气中汞浓度与频率变化的关系 8.3.4 测量液体密度的压电传感器 ? 测量液体密度的压电传感器的敏感元件是一个由压电晶片激励的空心音叉,图8.18为其结构示意图。音叉由不锈钢管制作,其Q值高达800,接近一般音叉,可满足检测共振频率微小变化的需要。两片压电陶瓷晶片,一片激励叉臂产生振荡,另一片接收信号。 图8.18 传感器结构示意图 流过音叉液体密度的微小变化,会导致音叉共振频率发生变化,关系式为 式中,ρ为液体密度,f为共振频率,A、B为定标系数。 图8.19是测量系统的方块图。由微型计算机控制的频率发生器激励传感器振动,晶片接收的信号经A/D变换后输给微型计算机,由微型计算机算出频率和密度,最后传输给显示器显示。该系统能连续测量流动液体的密度,测量迅速方便。测量的七种液体(蒸馏水及六种不同配比的乙醇与水和丙三醇与水)密度与频率的关系,如图8.20所示。测量值与校正值之间的相对偏差小于0.05%。 图8.19 测量系统的方块图 图8.20 密度与频率的关系 硅微结构谐振式传感器 从80年代中期开始，人们逐渐将微机械加工技术和谐振传感技术结合在一起，研制出多种微结构谐振式传感器。所谓“微结构”是指用微机械加工技术，将常规机械结构和巧妙的新结构以微型化的型式再现出来。由微结构组成的微谐振传感器，除具有经典谐振式传感器的优良性能外，还具有重量轻、功耗低、快响应和便于集成化的特点。由于微型化、低功耗的实现，测量机制相应地也出现了一些新变化，例如，可以做出热激励的工作方式等。 电磁激振与拾振 一般在梁式谐振元件上采用这种方式。谐振梁置于一横向磁场中，在梁或梁表面电极上通过一定的电流，以硅梁受到的洛仑兹力作为梁激振的扰动力，拾振是通过测量梁运动过程中反馈电动势的变化来进行的。通过反馈和等幅控制也能形成稳定的自振 采用电磁方式作为激励、拾振手段最突出的优点是与壳体无接触，但也有一些不足。如电磁转换效率低，激励信号中需引入较大的直流分量，磁性材料的长期稳定性差，易于产生电磁耦合等。 近来发展了一种采用压电激励、压电拾振的新方案，见图。压电陶瓷元件直接贴于圆柱壳的波节处，筒内完全形成真空。 谐振膜式压力传感器 谐振式压力传感器就是利用压力变化来改变物体的谐振频率，从而通过测量频率变化来间接测量压力。谐振式压力传感器输出为频率信号，测量精度高，并且适用于长距离传输而不会降低其精度。谐振式压力传感器无活动元件，是一种整体式传感器，其信号输出取决于机械参数，抗电干扰能力强，稳定性极好。 传感器组成 1.谐振压力谐振式压力传感器在工作时要产生振动，振动部分(称谐振子或谐振器)具有不同的结构形状，如振筒、振膜、振梁等，相应的就有谐振筒式、谐振膜式和谐振梁式压力传感器之分。应用最多的谐振器材料是硅，包括多晶硅和单晶硅，此外还有石英等。 2. 使振子产生振动，要外加激励力，需要激振元件； 3. 检测谐振频率，需要拾振元件； 4.检测外加压力则还需感压元件，感压元件感受待测压力，改变谐振子的刚度从而改变谐振频率。 谐振式微结构传感器的激振方式一般有:静电激振、电磁激振、压电激振、电热激振和光激振等；拾振方式一般有: 静电拾振、电磁拾振、压电拾振、压阻拾振和光学拾振等。 压电激振、拾振 ZnO具有压电和逆压电效应。利用CVD等方法，可以在谐振元件上沉淀ZnO层并在上下表面置上电极。ZnO的逆压电效应产生的变形力就是使谐振元件发生振动的扰动力，而谐振元件振动时的变形，又引起ZnO膜层同周期性变形，由压电效应知，必将引起ZnO膜上电荷量的周期性变化，从而