大功率射频激光电源功率控制技术研究-光学工程专业论文 word格式.docxVIP

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体 已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集体，均已在文中以 明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权保 留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本 人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索， 可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。本论文属于保密□，在年解密后适用本授权书。不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日1绪论1.1射频电源的发展及其在 CO2 激光器上的应用1.1.1射频激励 CO2 激光器及其优点CO2 激光器是最重要、用途最广泛的气体激光器之一，CO2 激光器的激励方式有直 流激励、交流高频激励、射频激励和微波激励[1-2]。CO2 激光器刚开始出现的时候，电 源采用直流方式来维持气体放电，随着电子技术和元器件的发展，其激励方式发展到 目前业界普片关注的射频激励和微波激励。射频激励技术是 CO2 气体激光电源技术发 展的新方向，它具有很多独特的优点，如长时间大面积均匀稳定放电、电能转换效率 高和输出光功率的电控程度高等[3,4,5]。射频激励 CO2 激光器在国防、工业和农业等领 域中获得了广泛的应用[6]。1.1.2射频电源分类射频信号的传输是一个波的过程，在阻抗不连续的界面会发生波的反射。CO2 激光 器的射频电源的频率对气体放电有很大的影响[7-9]。射频频率通常在 10MHz 至 200MHz 范围内，但是在实际情况下，激光器的工作频率受到很多因素的影响，例如气体成分、 气体压强等，实际研究中主要采用 40MHz~90MHz 的工作频率。射频电源是射频激光器的重要组成部分，它是整个激光器的功率来源。它在半导 体和材料制造工艺的发展下得到了很大的发展[10-11]。射频电源按使用的器件来分，可 分为全固态射频电源和电子管射频电源两种，其区别是：前者使用晶体管来作为功放 器件，它具有体积小、重量轻、寿命长等优点，缺点是他的功率和频率不易提高，输 出功率一般不高于 10kW。而后者采用电子管来实现射频功率的放大，它虽然存在体积 大、寿命低、工作电压高等缺点，但由于其性能稳定、输出功率可达数百千瓦，所以 其广泛的应用于高功率领域获。射频电源按振荡方式可以分为自激式和它激式射频电源。自激式射频电源一般为 电子管类型，它同时参与信号的振荡和放大。它激式射频电源一般有晶体管或者电子管类型，它的射频信号由一特定的振荡器产生，然后再经过功放将信号放大。它激式射频电源的频率稳定性要比自激式的高，但是其电路相对来说要比自激式的复杂。1.2射频电源及其功率控制技术研究进展射频激励技术由于有众多的优点，成为国内外科研机构研究的重点。它在国外起 步较早，生产大功率射频电源的公司很多例如 AE 和 COMDEL。AE 公司主要生产 10kW 以下的射频电源。COMDEL 公司主要生产 10kW 以上的射频电源，其最大输出功率为 150kW，工作频率范围为 2MHz 到 100MHz。射频激励技术在国内起步较晚，但是进步 迅速，生产射频电源的公司主要有暄腾科技发展有限公司和瑞思杰尔电子科技有限公 司。暄腾科技发展有限公司主要生产小功率的射频电源，输出功率小于 1kW。瑞思杰 尔电子科技有限公司则主要生产高功率的射频电源，输出功率可达到 30kW。射频激励 CO2 激光器的功率控制是通过调制器来实现的。调制器通过改变其输出 PWM 的占空比和频率来达到激光加工对光功率等因数的要求。激光器脉宽调制器的实 现方法归纳起来有三种: 第一种为模拟电路与 PWM 芯片相结合的方式；第二种为控制 芯片与 PWM 芯片相结合的方式；第三种为微处理器方式。前一种方式常见于早期的 激光器，这种发生方式有以下缺点，一般电路噪声大，智能化低，不易升级，只能产 生简单的 PWM 波等。后两种方式是目前最常用的方式。PWM 芯片和控制芯片相结合 的方式是目前国内外使用得比较多的成熟的产品，使用起来比较方便，但是任然有其 局限性，如它只能在对频率，上升沿和下降沿不高的场合使用等。所以本文采用了 TI 公司最新推出的 2000 系列的 DSP 产品 TMS320F2812 微处理器，它的最高频率达到 150MHz，具有强大的数据处理与事件管理能力能力，它的所有的上升沿和下降沿都小 于 0.4 微秒等。1.3本课题研究的主要内容和意义1