线性伺服驱动系统之创新应用(II)专题实作竞赛.pdfVIP

『線性伺服驅動系統之創新應用(II)』專題實作競賽 高溫超導體應用於微奈米磁浮系統之研究 初 審 報 告 報名編號：_____________ 指導老師：__ 陳引幹 ___________ 指導老師：___ 林伯芃__________ 參賽隊員：___王俊智__________ _____________ _____________ _____________ 學校名稱：__ 國立成功大學 ___________________ 科 系 所：__ 材料科學及工程學系___________________ 中華民國 九十四 年6 月 30 日 高溫超導體應用於微奈米磁浮系統之研究 目 次 摘要 1.前言 : 目前科技及產業的發展趨勢均是朝微小化進行，元件尺寸由數公分 (cm) 進展至數毫米 (mm)、甚至數微米(μm)，所牽涉到的相關產業除了積體電路製 程，還包括微機電、光電、生物科技等產業。這是由積體電路設計與半導體 材料、微影製程、蝕刻製程、薄膜成長和離子植入製程等技術相輔相成發展 的成果。隨著元件尺寸要求縮小，相關配合技術，例如樣品輸送、移動，同 樣需要達到能精確控制微小尺度的程度。近年來，亦有研究團隊進行以線性 馬達搭配永久磁鐵，利用磁極間的關連性，達到控制永久磁鐵做極小尺度的 移動。對此類型的陶瓷氧化物超導體，晶界（ Grain Boundary ）對其具有明顯的弱接 點效應（ Weak Link Effect ），因此發展使用頂端接種熔融織構法（Top Seed Melt-Texture Method, TSMT ）來製作塊材試片，可以避免晶界弱接點之效應。而此種 單晶粒高溫超導體塊材因內部磁鎖效應（ Flux Trapping Effect ）的影響，使其具有優 秀的磁浮力（Magnetic Levitation ）、磁懸浮力（Magnetic Suspension ）等特性，永久 磁鐵和超導體之間能 保持一穩定的距離而不需藉由其他的控制，在永久磁鐵位置改 變時，超導體內部能 亦能自動感應出超導電流，讓系統重新達到新的平衡，因此， 將超導體應用於傳統的線圈與永久磁鐵的磁浮系統，希望藉由超導體的特性來簡化 電路設計與控制。 2.專題研究目的 : 不同於一般永久磁鐵與電磁鐵的磁浮系統，本研究將高溫超導體 YBC0 塊材加入 傳統的磁浮系統中， 構成超導體、永久磁鐵和電磁鐵等新型的磁浮系統。永久磁鐵 藉由鎖磁力穩定地磁 浮在超導體的上方，此時若在線圈內通入微小的電流，線圈便 能產生微小的磁場變化使得永久磁鐵作一微小尺度的位移變化。為將磁浮位移系統 做精準的移動控制，首先需了解三者之間的電磁行為，並且探討輸入電流與磁鐵位 移間之間的關係。 2 3.團隊合作方式: 本團隊是由成功大學材料系陳引幹主任所指導，對於整體實驗之架構、實 驗進行評估與問題的解決方案皆有定期的開會討論，目前的成員除了陳老師博 班學生外也希望加入對此計劃感興趣的碩班新生!!工作整體的規劃在人員確定