ZnO_AlN复合压电薄膜的研制.pdfVIP

第 刀 卷 第 期 电 子 科 技 大 学 学 报 刀 卯 年 月 王 址 四 卯 汹 复合压 电薄膜 的研制 曲 新 份 份 杨 严 喜 革 康 宁 电子科技大学信息材料学院 成都 加 摘要 各 种 超 高倾 电 于 登 机 雷 要 高性 能 的 表 声 波 压 电 器 件 介 绍 了新 的 压 电薄 、 膜一 劝 月 合压 电薄膜 的制连 结构和性能, 并给 出主要研钊结 果 关 扭 词 压 电薄膜 复合压 电薄膜 减封 平面 斌拉城封 组织 结构 围 仪抖 中 分类号 作为表声波压 电器件 的主要材料, 压 电薄膜与压 电单 晶及 压 电陶瓷相 比, 具有 多方面 的优 , 因 , 用 压 于 , , 越性 此 现在越来越 多 的应 电薄膜 由 在压 电薄膜 中 薄膜 的综 合性 能较好 所 以这种薄膜得 到 了相 当广泛 的应用 为压 电 , 的最大 , 电阻 和 压 强 因此, 作 薄膜 薄膜 缺点是声速低 其 次是 率小 耐 度低 使 这种薄膜在超高频和微波压 电器件 中的应用受到 了很大 的限制 为 了克服 这 一 困难 , 近 年来 工 国 压 电 展 了 泛 的 , 一 种 各 业先进 家对 薄膜 开 广 研究 结果表 明 薄膜是 性 能非常优 压 电 , 于 和 压 器 , 压 电 相 比, 不 足之 处 异 的 薄膜 适合 超高频 微波 电 件 但是 与 薄膜 它 的 是 机 电藕合系数较小 为 了 时 用 和 膜 的 , 发 , 研 层 能 同 利 月 薄膜 薄 优点 充分 挥其 效能 我们 制 了 状复合 结 · 构, 即 型复合结构 的 复合压 电薄膜 采 用这种复合结构 以后 , 可 以得到机 电藕合 系 、 速又 的 压 电 膜 数大 声 很高 复合 薄 复合压 电薄膜 的制造 为 了能检测 出复合压 电薄膜 的性 能, 必须 制造 出相 应 的测 试 用样 品 因此 , 在研 制 中不 可 能单纯 的只是制造复合压 电薄膜, 而是需要制造 出含有 电极和 引出的测试样 品 测试样 品的结构 从理论上来说, 测试样 品 的结构可 以