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扫描电镜SEM简介 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜，简称为扫描电镜，英文缩写 为SEM (Scanning Electron Microscope) 。它是用细 聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互 作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或 断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱 （EDS ）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也 是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶 金、矿物、生物学等领域。 扫描电子显微镜 主要内容  SEM的产生  电子束与固体的相互作用  SEM的结构与工作原理  SEM的衬度与成像  SEM的特性与优点  SEM的样品制备  应用举例 光学显微镜的极限  SEM的产生 电子束作为光源  根据德布罗意公式：  考虑相对论效应 V=10KV → λ=0.0122nm  金属线圈对电子流折射聚焦：  电场和磁场可以作为电子束的透镜，进行折射 和聚焦。 SEM的产生 SEM的产生过程  1924年，德布罗意(De Broglie ）提出物质波的概念;  1926年，德国的Garbor和Busch发现用铁壳封闭的线圈形 成轴对称磁场可以使电子流折射聚焦;  1935年，德国的Knoll提出现代SEM的概念;  1965年，英国剑桥仪器公司生产出第一台商用SEM;  1968年，Knoll研制出场发射电子枪；  1975年，中国科学院北京科学仪器厂生产了我国第一台 SEM，分辨率为10nm。 SEM的产生 Max Knoll (1897-1969) 1935年提出扫描电镜的设 计思想和工作原理。 1965年，剑桥仪器公司制造出世 界第一台商用扫描电镜。 SEM的产生 电子束与固体的相互作用 一束细聚焦的电子束轰 击试样表面时，入射电子束 与试样的原子核和核外电子 将产生弹性或非弹性散射作 用，并激发出反映试样形貌、 结构和组成的各种信息。 包括：二次电子、背散射电子、特征X 射线、 俄歇电子、吸收电子、透射电子、阴极荧光等。 电子束与固体的相互作用 二次电子  二次电子是指在入射电子束作用下 被轰击出来并离开样品表面的样品 的核外层电子。 入射高压电子束  二次电子的能量较低，一般都不超 过50 ev 。大多数二次电子只带有几 俄歇电子 背散射电子 个电子伏的能量。 二次电子  二次电子一般都是在表层5-10 nm深 阴极荧光 X射线 度范围内发射出来的，它对样品的 表面形貌十分敏感，因此，能非常 样 品 吸收电子 有效地显示样品的表面形貌。 透射电子  它的产额与原子序数Z没有明显关 系，不能进行成分分析。 电子束与固体的相互作用