光电式位移感测系统之设计开发.pdfVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 光電式位移感測系統之設計開發 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC92-2212-E-002-040- 執行期間：92年08月01日至93年07月31日 執行單位：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所 計畫主持人：黃光裕 計畫參與人員：鄭欽宇 黃建泰 國立臺灣大學 機械工程學研究所 報告類型：精簡報告 處理方式：本計畫可公開查詢 中 華 民 93年10月4日 國 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 光電式位移感測系統之設計開發 Development of an Optoelectronic Displacement Sensor System 計畫編號： NSC92 －2212 －E －002 －040 － 執行期限：92 年 08月 01日至 93 年 07月 31日 主持人：黃光裕 國立臺灣大學 機械工程學系 計畫參與人員：鄭欽宇 黃建泰 國立臺灣大學 機械工程學研究所 一、中文摘要 optical elements. The motion of the sensing 本計畫目的在於設計開發一個光電式位 object induces the variation of the transmission 移感測系統，位移解析度設定在 µm範圍，並 intensity and the bright/dark area, which is 追求 0.1µm最高解析度 ，並且能夠量測靜態與 detected by two optoelectronic sensors and is 高速動態位移 。首先根據所需之系統功能選用 transferred to the corresponding analog signal. 光束直徑3 mm 之雷射光源 ，光束經由適當光 To increase the accuracy and reduce the 學元件之配置傳送到位移量測區域。被測物之 interference of the noise, the differential 位移造成光強度與明暗區域的變化 ，透過光電 measurement method is applied. The transmitted 感測元件之量測進而產生電子類比訊號 。為 了 laser beam is projected onto two optoelectronic 提昇位移量測之準確性與減少隨機雜訊之干 sensors by using a prism. The differential output 擾 ，研究中採用差動式量測方法 ，被測物位移 signal of the both sensors is used as the output 所造成光照區域的變化透過分光鏡傳送到兩 signal of the displacement sensor system. 個光電元件上 ，並以此二光電元件之相減訊號