mems产业发展现状及应用前景课件.pptxVIP

MEMS发展现状  及其应用前景;一、MEMS定义概述;与传统机械系统相比，MEMS系统具备以下优势： ?①微型化和集成化：几何尺寸小，易于集成。采用微加工技术可制造出微米尺寸的传感和敏感元件，并形成二维或三维的传感器阵列，再加上一体化集成的大规模集成电路，最终器件尺寸一般为毫米级。 ?;②低能耗和低成本：采用一体化技术，能耗大大降低；并由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，易于实现规模化生产，成本低。? ③高精度和长寿命：由于采用集成化形式，传感器性能均匀，各元件间配置协调，匹配良好，不需校正调整，提高了可靠性。 ? ④动态性好：微型化、质量小、响应速度快、固有频率高，具有优异动态特性。 ;二、MEMS的历史和发展现状;时间;2.2 MEMS的发展现状; 二）法国： 在市场运作方面，法国与美国市场保持紧密协作，瞄准美国航天与军用市场，并以此为立足点向民用产品、汽车和新领域拓展。 2013年技联国际会议上，法国国家计量与测试实验室推出首项MEMS输出精确测量技术，它将有助于全球MEMS制造商提高产品性能开发、开发新功能、降低大规模生产的能源消耗，影响市场对小型化的需求和提高可靠性。 三）德国： MEMS在德国国内重点领域是汽车，其次是化学设备、半导体。 德国的卡尔斯鲁研究中心在1987年提出了LIGA工艺而闻名于世，该