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1. 中性气体粒子 2. 带电粒子 3. 受激粒子和光子 4. 碰撞过程 设两粒子质量分别为m1、m2,碰撞前粒子的速度分别为v1、v2,其中v2=0。两粒子发生碰撞后速度分别为u1、u2,如图1.1所示。 1.1.2 气体放电的基本参量 气体放电中决定放电情况的基本物理因素是电子、原子、分子及离子间的碰撞,描述这种碰撞过程的物理量是碰撞截面、自由程和激发速率。 1. 碰撞截面 所谓碰撞,是指粒子相互接近时,将引起粒子的动量、动能、内能等的变化。以电子与原子的碰撞为例,引进碰撞截面的概念。如图1.2所示, 如果认为原子是半径为a的“弹性球”,当运动的电子处于“弹性球”的阴影区域时,电子与“弹性球”将发生碰撞,可以认为碰撞截面为 σ=πa2 (1-19) 假设一束截面积为A的电子沿x轴以速度v通过某种气体,电子与气体粒子发生碰撞,电子的动量改变使电子束偏离,如图1.3所示。 碰撞截面的概念对于描述粒子的碰撞过程及粒子状态都十分有用。粒子的碰撞包括弹性碰撞、非弹性碰撞的激发和电离,因此Q可表示为总弹性碰撞截面Q弹、总激发截面Q激和总电离截面Q电离的总和,即 Q=Q弹+Q激+Q电离 (1-23) σ=σ弹+σ激+σ电离 (1-24) 弹性碰撞截面σ弹、激发截面σ激和电离截面σ电离分别表征了各种碰撞几率的大小。原子系统的电离截面σi、禁戒跃迁的激发截面σex1,非禁戒跃迁的激发截面σex2,以及电子随动能的麦克斯韦分布关系曲线,如图1.4所示。 3. 激发速率 在气体放电过程中,工作物质粒子数反转分布的建立和维持依赖于电离和激发两种过程,电离过程是为维持放电所必不可少的(要求提供电子、离子、亚稳粒子),激励过程是建立反转分布所必需的(要求只对激光上能级有强烈的激发,而对激光下能级有有效的消激发)。 在连续气体放电中,可以用朗缪尔探针测量电子能量分布函数。作为例子,在CO2+N2+He混合气体为工作物质的CO2激光器中电子能量分布曲线如图1.5所示。结果表明,分布函数是偏离麦克斯韦分布的。这种偏离反映了电子-分子之间的能量交换过程。可以看出,当E/N值增大时,高能电子大量增加。 1.1.3 气体放电的形式 1. 直流放电 放电管采用平行板电极,阴极K和阳极A之间的距离为d,管内充有压强为几百帕~几千帕的某种气体,在放电管两端加一个可调直流电压u。如图1.6所示是测量放电管伏-安特性的电路(a)及伏-安特性曲线(b)。伏-安特性曲线的不同区域代表了不同的放电特性,其放电的物理过程也不一样,而这些不同的放电特性之间又有其内在的联系。 曲线EF段以后对应着自持放电,EF段所对应的放电称为正常辉光放电,其特点是电流增加,管压降几乎维持不变,电流为10-4~10-1A,这是一种稳定的小电流自持放电。 此时放电管内部可分为8个明暗相间的区域,如图1.7所示。 二次电子在电场的作用下,由阴极向阳极运动。 由阿斯顿暗区、阴极辉区和阴极暗区组成的阴极区是维持放电的关键区域。 经阴极暗区后,少量电子能量稍有衰减,但仍能有效地激发气体粒子而发光,形成负辉区。 电子经法拉第暗区加速,能量得以增加,又能有效地使气体粒子激发、电离,形成正柱区,正柱区为均匀的辉光放电区域。 2. 射频放电 射频放电也称高频放电,在放电管两电极间施加高频变电场,使电场变化周期远小于带电粒子在两电极间的渡越时间,电子只能在某个固定位置附近振荡,并与气体粒子碰撞,产生电离和激发来维持放电。 3. 脉冲放电 在放电管两极间施加脉冲电压引起气体击穿的现象,称为脉冲放电。如果气体的击穿电压为VD,当两极间施加脉冲电压VVD时,气体具有绝缘体的特性,当VVD时,气体开始导通,阻抗急剧下降。 1.2.1 共振激发能量转移 激发态粒子与基态粒子相碰撞,使基态粒子被激发到高能态(亚稳态)而原激发态粒子则跃迁到较低能态或返回基态,这种过程称为共振激发能量转移,属于第二类非弹性碰撞。 1. 原子-原子的共振激发能量转移过程 激发态原子A*与基态原子B*相碰撞,使基态原子被激发到高能态B*,而原激发态原子则跃迁到较低能态或返回基态A,反应方程为
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