孔金属化及电镀铜工艺改.docVIP

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孔金属化及电镀铜工艺改

中国电子科技集团公司第三十八研究所 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * AA/Z203-2006 共 6 张 2007 年 1月 旧底图总号 底图总号 日期 签名 格式(9) 旧底图总号 更改标记 数 量 更改单号 签 名 日 期 底图总号 拟 制 AA/Z203-2006 审 核 日期 签名 质 量 等 级 标 记 第 2 张 共 4 张 标准化 批 准 格式(3、4) 制图: 描图: 幅面:4 旧底图总号 底图总号 拟 制 AA/Z203-2006 日期 签名 审 核 更改标记 数量 更改单号 签 名 日期 标准化 第 3 张 格式(3a、4a) 制图: 描图: 幅面:4 旧底图总号 底图总号 拟 制 AA/Z203-2006 日期 签名 审 核 更改标记 数量 更改单号 签 名 日期 标准化 第 4张 格式(3a、4a) 制图: 描图: 幅面:4 旧底图总号 底图总号 拟 制 AA/Z203-2006 日期 签名 审 核 更改标记 数量 更改单号 签 名 日期 标准化 第 5张 格式(3a、4a) 制图: 描图: 幅面:4 旧底图总号 底图总号 拟 制 AA/Z203-2006 日期 签名 审 核 更改标记 数量 更改单号 签 名 日期 标准化 第 6 张 格式(3a、4a) 制图: 描图: 幅面:4 4 工艺过程 4.1 膨松 4.1.1配方和工艺参数 膨松剂CS-24-A 250~300ml/L 氢氧化钠 4~9g/L 水 700~750ml/L 温度 60~70℃ PH 10~12 时间 5~8min 4.1.2 槽液维护 每周分析一次含量,按分析补加高锰酸钾、氢氧化钠。 生产100m2加1.0 L膨松剂,NaOH 30g,生产20m2/L更槽。。 4.2 二次水洗 每道水洗时间为1~3分钟。 4.3 凹蚀 4.3.1配方和工艺参数 除胶渣剂CS-24-B 80~100ml/L 氢氧化钠 35~45g/L 高锰酸钾 50~60g/L 温度 70~

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