第五章　压电式传感器 5-1.ppt

压电式传感器 压电式传感器的工作原理是基于某些介质材料的压电效应, 是典型的有源传感器。当材料受力作用而变形时, 其表面会有电荷产生，从而实现非电量测量。 特点： 结构简单、体积小、重量轻； 工作频带宽；灵敏度高；信噪比高； 工作可靠；测量范围广等。 用途： 主要用于与力相关的动态参数测试，如动态力、机械冲击、振动等，它可以把加速度、压力、位移、温度等许多非电量转换为电量。 主要内容 压电效应与压电材料 压电式传感器的工作原理 压电式传感器的等效电路与测量电路 压电式传感器的应用 　　什么是压电效应 某些物质沿某一方向受到外力作用时，会产生变形，同时其内部产生极化现象，此时在这种材料的两个表面产生符号相反的电荷，当外力去掉后，它又重新恢复到不带电的状态，这种现象被称为压电效应。当作用力方向改变时，电荷极性也随之改变。这种机械能转化为电能的现象称为“正压电效应”或“顺压电效应”。 正（顺）压电效应示意图 反之，当在某些物质的极化方向上施加电场，这些材料在某一方向上产生机械变形或机械压力；当外加电场撤去时，这些变形或应力也随之消失。这种电能转化为机械能的现象称为“逆压电效应”或“电致伸缩效应”。 压电效应的可逆性  压电材料常见的压电材料可分为两类，即压电单晶体和多晶体压电陶瓷。 压电单晶体有石英(包括天然石英和人造石英)、水溶性压电晶体(包括酒石酸钾钠、酒石酸乙烯二铵、酒石酸二钾、硫酸锤等)； 多晶体压电陶瓷有钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和铌镁酸铅压电陶瓷等。 压电材料特性 　（1）压电常数：是衡量材料压电效应强弱的参 　　　数，与压电输出灵敏度有关。 　（2）弹性常数：压电材料的弹性常数、刚度决定 　　　着压电元件的固有频率和动态特性。 　（3）介电常数：对于一定形状、尺寸的压电元 　 件，其固有电容与介电常数有关；而固有电 容又影响着压电传感器的频率下限。 压电材料特性 （4）机械耦合系数：在压电效应中，转换输出 能量与输入能量之比的平方根，是衡量压电材 料机— 电能量转换效率的一个重要参数。 （5）电阻：压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄 漏，从而改善压电传感器的低频特性。 （6）居里点温度：是指压电材料丧失压电特性 的温度。 压电材料特性 压电材料主要有三大类 1.压电晶体(单晶体) 2.压电陶瓷(多晶半导体) 3.新型压电材料 常用压电材料性能 石英晶体的压电效应 石英晶体的化学式为SiO2，是单晶体结构，有天然和人工培养两种，居里点温度为５７６度，温度稳定性好，机械强度高，动态性能好，但灵敏度低、介电常数小、价格昂贵。 理想几何形状的石英晶体，是一个正六面体晶柱。 石英晶体形状 定义： x：两平行柱面内夹角等分线，垂直此轴压电效应最强。称为电轴。 y ：垂直于平行柱面，在电场作用下变形最大，称为机械轴。 z ：无压电效应，中心轴，也称光轴。 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 压电晶体切片 压电系数dij有两个下标，即i和j，其中下标i（i=1，2，3）表示在i面上产生的电荷，例如i=1，2，3分别表示在垂直于x、y、z轴的晶片表面即x、y、z面上产生的电荷。 下标j=1，2，3，4，5，6，其中j=1，2，3分别表示晶体沿x、y、z轴方向所受的正应力；j=4，5，6则分别表示晶体在x、y、z面上所受的剪切应力。 压电陶瓷的压电效应 　　　材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，电畴实际上是自发形成的小区域，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质。 　　　为了使压电陶瓷具有压电效应，就必须在一定温度下对其进行极化处理。 　　　目前使用较多的压电陶瓷材料是锆钛酸铅（PZT）系列，它是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb（Zr、Ti）O3。它与钛酸钡相比，压电系数更大，居里点温度在300℃以上，各项机电参数受温度影响小，时间稳定性好。此外，在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素（如铌、锑、锡、锰、钨等）还可以获得不同性能的PZT材料