大气压非平衡等离子体射流.PDF

第 41 卷 第 8 期：2602-2624 高电压技术 Vol.41, No.8: 2602-2624 2015 年 8 月 31 日 High Voltage Engineering August 31, 2015 DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2015.08.012 大气压非平衡等离子体射流 1,2 1 1 吴淑群 ，聂兰兰 ，卢新培 1. 430074 （ 华中科技大学强电磁工程与新技术国家重点实验室，武汉 ； 2. 南京航空航天大学自动化学院，南京210016 ） APNP-Js ( 摘 要：大气压非平衡等离子体射流（ ）的显著优点是可以在开放空间内而非狭窄放电间隙内 如介质阻 ) APNP-Js 1 挡放电 产生非平衡等离子体， 已成为低温等离子体应用领域的 项新型关键技术。为此，首先从驱动电 源的角度出发，分别介绍了直流、交流、射频、微波、脉冲和双电源驱动的几种典型 APNP-Js 。其次比较了不同 电源驱动的APNP-Js 特性，发现在消耗功率相同的情况下，脉冲驱动模式下的 APNP-Js 长度更长，APNP-Js 推进 速度更快，活性粒子数密度更高，而气体温度则保持在常温。再次进一步分析了电源参数对 APNP-Js 的影响，① 1 Hz APNP-Js APNP-Js “ ” 随着频率从 上升至射频范围， 长度总体变短， 推进形状由 等离子体子弹 转变为连续柱状； ②随着脉冲上升沿从几 μs 降低至 50 ns，不仅APNP-Js 推进速度加快，而且 APNP-Js 长度增加，电子温度更高， 活性更强；③通过比较正负极性电压驱动的 APNP-Js 特性，发现负极性 APNP-Js 长度更短，APNP-Js 推进速度更 慢，射流携带电流更小，但等离子体通道中电场强度更高。最后讨论了驱动电源特性与 APNP-Js 参数之间的关系， 并对 APNP-Js 面临的一些关键问题和发展方向进行了展望，如利用最少的电源功率来驱动 APNP-Js 以获得最高的 活性粒子数密度、电源输出能量耦合进等离子体后如何分配优化等。 关键词：大气压非平衡等离子体；等离子体射流；脉冲放电；活性粒子；等离子体医学；驱动电源；气体放电 Atmospheric-pressure Non-equilibrium Plasma Jets 1,2 1