传感与检测技术传感器原理电参量型电容式.pptVIP

电容式传感器 电容式传感器 Capacitance sensor 电容式传感器Capacitance transducer 电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。 电容式传感器工作原理 电容式传感器的分类： 变极距型 变面积型 变介质型 1）变极距型电容传感器 原理： 当传感器的εr和A为常数，初始极距为δ0，则电容值： 1）变极距型电容传感器 非线性误差： 1）变极距型电容传感器 对非单一介质的电容传感器： 2）变面积型电容传感器 分类：线位移型和角位移型 2）变面积型电容传感器 柱体线位移型 2）变面积型电容传感器 3）变介质型电容传感器 原理： 测量电路Measurement circuit 1) 耦合式电感电桥 紧耦合式电感电桥 电容式传感器的应用 1) 电容式位移传感器 * * 应用实例： 电容式传感器Capacitance transducer 主要内容 电容式传感器工作原理 电容式传感器的测量电路 电容式传感器及其应用 以平板电容器为例： + + + + + + 特性分析： 只有在|△δ/δ0|很小时，才有近似线性输出，故适合测量微小位移。 灵敏度与初始极距的平方成反比，故可用减小δ0的方法提高灵敏度。 分辨力极高，在微位移测量中应用广泛。 差动结构： 可见，差动式比单极式灵敏度提高一倍，且线性误差大为减小，还能有效地补偿温度变化所造成的误差。 平面线位移型 令以最大相对面积为初始位置， 线位移型——平面线位移型和柱体线位移型 特性： 传感器的输出特性为线性，因而其量程不受线性范围的限制，适用于测量较大的直线位移。但灵敏度较低，常采用差动式结构以提高灵敏度。 角位移型 以电介质插入式为例， 变压器电桥 2) 双T二极管交流电桥 3) 脉冲调宽电路 4) 运算放大器电路 其最大特点是克服了变极距型电容传感器的非线性。 2) 电容式加速度传感器 3) 电容式力和压力传感器 4) 电容式物位传感器 *