静电的简介.ppt

查核現場ESD防護作業Auditing; Ref: ESD Association Web Site ◆ 時常且週期性的進行查核 ■ 可對每個部門以抽樣的方式決定受查核的工作區 ◆ 詳實的紀錄及完成查核報告 ■ 品質目標達程度、矯正措施、符合ISO-9000系統要求 ◆ 稽核時若發現缺點則需提出有效的矯正措施 ■ 對人員在訓練、更改標準文件或作業程序要求、改進 現有的設備 * 查核現場ESD防護作業Auditing; Ref: ESD Association Web Site 1.是否有曾分析公司現有產品的ESD敏感程度並作 分級 ? 若有分級,生產過程是否有標示 ? 對於ESD 較敏感的元件是否有作特殊分類的處理 ? 2.在工作區域中是否有ESD防護的說明及文件 ? 3.有沒有定期針對靜電防製作內部訓練 ? 在訓練課 程中是否涵蓋了公司靜電防制稽核的缺點說明 ? 4.工廠是否有ESD回報的管道 ? 多久定期檢查設備 ? * 查核現場ESD防護作業Auditing; Ref: ESD Association Web Site 5.包裝材料有異變時如何去查驗 ? 查驗的方法 ? 6.分包商的ESD防制計劃是否有 確實執行 ? 多久稽核一次 ? 7.工廠內除了生產線以外的其他 區域,如維修部、工程部、進料 檢驗區、庫房…等,是否也具同 樣的模式管理 ? 8.工作環境的靜電是否高於標準 ? 何為標準 ? * 靜電放電對產品的影響靜電放電實務 ◆ 電子產品在製造作業中之靜電防制措施 ■ Basic Principles ■ 接地系統 ■ EPA中需注意之措施 ■ 電子產品之包裝與運送 * 工作環境中的靜電充放電電子產品在製造作業中之靜電防制措施 * ThermokeyTek 512-pin Automatic ESD/Latch-up Tester * ESD Sensitivity 測試-CDM電子元件及產品之ESD測試 * 元件之ESD保護線路簡介ESD Protection Circuit簡介 ◆ 如同在IC內部安裝避雷針,並安排適當之 路徑導掉電流 ◆ 困難 ■ Small geometry devices ■ High ESD robustness ■ Fast operating speeds * Technology RoadmapESD Protection Circuit簡介 Feature Size (μm) 3 2 1.5 1 0.8 0.5 0.35 0.25 0.18 Junction Depth (μm) 0.8 0.5 0.4 0.35 0.3 0.25 0.2 0.18 0.15 Oxide Thickness (? 500 400 300 200 150 100 70 50 30 LDD NO NO YES YES YES YES YES YES YES Salicide NO NO YES YES YES YES YES YES YES Hot Carrier Degradation ESD Degradation LDD Salicide Process Optimization For ESD * LDD 與 SilicideESD Protection Circuit簡介 ◆ NMOS with silicded diffusion (for internal devices) Source Gate Drain Silicide SSilicide LDD P-Substrate N+ N+ * 理想的保護線路ESD Protection Circuit簡介 V DD PFIMARY ESD PROTECTION SECONDARY ESD PROTECTION PRIMARY ESD PROTECTION SECONDARY ESD PROTECTION INTERNAL CIRCUIT POWER RAIL ESD CLAMP ESD CLAMP ESD CLAMP PAD PAD VSS * 用於ESD保護線路之元件E