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精密主轴回转误差在线动态测试技术研究 关键字：精密；主轴回转误差；动态测试技术 1前言 制造技术可以直接影响到一个国家经济的发展和国家的综合竞争力，目前的美国和日本等工业发达国家，其制造技术是非常先进的，而且对制造技术研究的投入也非常巨大，通过这种先进的制造技术，其生产的效率和加工的质量都被大幅度的提高了，同时对员工工作的强度、工作的环境都有一定的改善作用，提升了整个企业的市场竞争力，通过分析发现，目前的制造技术正在向精密、高速、自动化、高能束方向发展。其中的精密加工技术起源与上世纪60年代末期，当时为了适应科技发展的需要，这种精密加工的精度通常都在0.1到0.01微米左右，表面的粗糙度在0.03到0.005微米之间，因此精密加工技术也被称之为亚微米级加工技术，而随着航天技术和微处理技术的发展，精密加工已经开始向纳米级别发展，现代的国际竞争中，精密加工技术已经成为企业成功的关键性技术之一。 在实际的加工过程中，由于力学上的特殊原因，主轴在转动的过程中，不可能保持在一个位置转动，只能是在一个平均的轴线上进行往复的转动，这个往复转动的过程就是回转运动，由于会进行回转运动，在主轴工作的过程中就必然会产生一些误差，尤其是精密的机床中，这种看似很小的误差会引起很大的后果，通过分析发现，主轴回转误差通常是由径向、轴向、角度三个误差组成的一个综合性的误差，通常情况下，主轴回转的误差是由这三个误差共同造成的，通过多次实验结果表明，在圆度误差中，有超过一半的误差是由于主轴回转误差导致的，而且主轴回转误差在圆度误差中所占的比例，会随着主轴精度的提高而提高，通过对精密主轴回转误差的测试，可以对机床在理想的工作环境下能达到的最小误差的，这个测试的结果为机床补偿控制提供了重要的参考，还可以判断出加工误差产生的原因，由此可见，对精密主轴回转误差的测试技术，尤其是在线动态测试技术的研究，有重要的应用意义。 2两点误差分离动态测试法原理 对于精密主轴回转误差的测量，是控制精密设备的关键技术，目前使用较多的主要有两点法和三点法等，但是在三点误差分离动态测试法中，必须要使用三个传感器，同时对机械测试装置等加工精度要求很高，在安装和调试过程中都不是很方便，因此，本文对精密主轴回转误差在线动态测试技术的研究主要对两点误差分析动态测试法进行研究。 在进行主轴回转误差运动的测试时，其依循的原理如图2-1所示，图中的S1和S2分别代表两个传感器，其分布是圆周方向上相隔180度对称，在车床主轴回转时，两个传感器的位置不动，同时采集到主轴回转的信号，采集到这些数据之后，通过消除偏心的措施和误差分离技术，就能够得到主轴的回转误差，同时还能够得到测试轴的圆度误差。 图2-1 两点误差分离动态测试原理示意图 这个过程的主要原理是，先选取两个特性比较接近的电容式微唯一传感器S1和S2，按照图2-1所示的原理进行布置，然后在传感器转一圈设定一个采样点，每个传感器采集到的信号应该包括被测主轴的回转误差信号e（θ）和主轴圆轮廓信号R（θ），在初始的测试位置应该如图2-1中的a所示，测试轴随着主轴转动，两个传感器S1和S2分别采集到第0个点的信号，其计算的公式为： S1(θ0)=R(θ0)+e（θ0） （1） S2(θ0)=R(θ0-PI)-e（θ0） （2） 如果主轴转过了180度，如图2-1中的b所示，两个传感器S1和S2就测得第（n/2）点的信号，具体的计算公式为： S1(θn/2)=R(θ0-PI)+e（θ0） （3） S2(θn/2)=R(θ0)-e（θ0） （4） 通过上面的公式（1）和公式（4）就能够计算出，主轴在第0点的回转误差信号e（θ0）和圆轮廓信号R(θ0)，计算的具体过程为： e（θ0）=[ S1(θ0)- S2(θn/2)]/2 （5） R(θ0)= [ S1(θ0)+ S2(θn/2)]/2 （6） 计算出主轴在第0点的回转误差信号和圆轮廓信号之后，就可以从上面的两个式子推导出e（θ0）和R(θ0)的前半圈各点的值是由传感器S1前半圈和S2后半圈的值求得的，由此可以推出e（θ0）和R(θ0)后半圈的值，应该是由传感器S1的后半圈和S2的前半圈求得，具体的计算过程为： 当i=0～（（n/2）-1）时 e（θi）=[ S1(θi)- S2(θi+n/2)]/2 （7） R(θi)= [ S1(θi)+ S2(θi+n/2)]/2 （8） 当i=（n/2）～（n-1）时， e（θi）=[ S1(θi)- S2(θi-n/2)]/2 （9） R(θi)= [ S1(θi