FinFET（鳍式场效晶体管）技术的简单介绍.docVIP

FinFET（鳍式场效晶体管）技术的简单介绍（1）? /forum/content/1180-introduction-finfet-technology-part-i.html 由于半导体器件尺寸的持续按比例缩小（目前已经进入22纳米/20纳米制程阶段），我们得以不断提高电路的性能、功耗、电路集成度以及性能。而业界对于FinFET的研究虽然已经持续了10年以上，但是直到最近，该技术才被真正采用到实际生产当中去。 ? 一个FinFET的剖面图如下所示（图1）。与平面晶体管相比，FinFET的器件关键尺寸由栅极高度和宽度两个因素同时决定（平面器件而言，关键尺寸被定义为从源极到漏极的栅设计长度）。