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目 录 扩散前外观检验标准 2 1. 目的 2 2. 适用范围 2 3. 外观分类 2 4. 外观检验方法 3 5. 扩散前外观检验流程图 3 附件一 4 扩散前外观检验标准 目的 制定扩散前硅片的外观检验标准，使操作者正确判断硅片是否需要返工。 适用范围 用于判定以下硅片的外观是否合格，是否可以流入下到工序，包括生产一部车间制绒后产出的125单晶、156单晶、及碱制绒类单晶扩散前的电池片的外观。 外观分类 良品 表面颜色均匀一致，无颜色差异片，或满足下文要求的轻微白点，轻微脏污，轻微水痕，轻微花篮印等。 不良品 严重白点，严重水痕，严重脏污，严重花篮印等。 不良定义及检验方法 白点、雨点 4.1.1定义：显微镜下表现为无绒面或绒面生成率低于50%，造成局部反光率较高，宏观上表现为白点。 4.1.2检验方法：在光照不低于800Lx的照度下，距离硅片40-50cm，目视，可调整观察角度，观察硅片正反两面，合格品要求无可见白点，或者直径小于0.4mm的白点3颗以内，如果白点位于硅片边缘0.8mm范围内，则允许存在直径小于0.6mm的白点3颗以内。硅片两面如一面满足以上任一条件，且无其他明显缺陷，则判断该片为合格品，且扩散插片以合格面做扩散面。 如硅片中间白点直径大于0.4mm（如图1），或者边缘白点直径大于0.6mm，且两面中均不满足合格品标准，则该片判断为不合格片。 图1 水痕 4.2.1定义：由于制绒后喷淋不及时或硅片出厂前清洗不干净，碱或其他有机溶剂残留在硅片上，造成制绒后硅片表面形成颜色不均匀情况。 4.2.2检验方法：在光照不低于800Lx的照度下，距离硅片40-50cm，目视，可调整观察角度，观察硅片正反两面，合格品要求无可见水痕，或者水痕处颜色呈灰色或深灰色，接近正常区域颜色（如下图2“轻微水痕”），面积小于整片硅片的1/4，或者水痕正面不可见，只有倾斜某一角度才能看到（图3），硅片两面中任一面满足以上条件，且无其他明显异常均可判定为正常品，且扩散插片以合格面做扩散面。 如果水痕明显发白，如下图指示区域，或者其他类似水痕的发白痕迹（图4），且硅片两面中均不满足正常品条件，则该片判断为不合格品。 图2 图3 图4 花篮印 4.3.1定义：硅片边缘与花篮接触处，由于在制绒过程中气泡脱附不良，造成硅片边缘绒面生长不均匀或绒面覆盖率不高，宏观上表现为硅片边缘与花篮接触处颜色与正常区域存在差异。 4.3.2检验方法：在光照不低于800Lx的照度下，距离硅片40-50cm，目视，可调整观察角度，观察硅片正反两面，合格品要求无可见明显花篮印，或者花篮印呈接近硅片的深灰色（如图5），硅片两面中任一面满足以上条件，且无其他明显异常均可判定为正常品，且扩散插片以合格面做扩散面。 图5 如花篮印明显发白（图6），或类似抛光发亮（图7），且硅片两面中均不满足正常品条件，则该片判断为不合格品。 图6 图7 指纹印 4.4.1定义：由于手接触硅片时，油脂或其他脏污残留在硅片表面，制绒时油脂残留处与其他区域反应速率差异，造成接触区域制绒后残留接触痕迹。 4.4.2检验方法：在光照不低于800Lx的照度下，距离硅片40-50cm，目视，可调整观察角度，观察硅片正反两面，合格品要求无可见明显手指印，或正面不可见，仅某一个角度才可见的轻微指印，或指印处颜色呈灰色或深灰色，接近硅片正常处颜色（图8），且指印面积小于整个硅片面积的10%，硅片两面中任一面满足以上条件，且无其他明显异常均可判定为正常品，且扩散插片以合格面做扩散面。 图8 如果指印痕迹明显发白（图9），或者指纹痕迹呈接近正常部分的深灰色，但指印面积大于硅片面积的10%（图10），且硅片两面均不满足正常品条件，则该片判断为不合格品。 图9 花斑 4.5.1定义：由于硅片清洗时溶剂残留或其他有机物污染，造成硅片制绒后呈现花斑状痕迹或其他不规则痕迹。 4.5.2检验方法：在光照不低于800Lx的照度下，距离硅片40-50cm，目视，可调整观察角度，观察硅片正反两面，合格品要求无可见花斑痕迹，或花斑痕迹轻微，颜色呈深灰色或灰色，接近正常区域颜色,（图10），硅片两面中任一面满足以上条件，且无其他明显异常均可判定为正常品，且扩散插片以合格面做扩散面。 图10 如花斑痕迹正视明显（图11 图12），或颜色发白，且硅片两面均不满足正常品条件，则该片判断为不合格品。 图11 图12 其他脏污 4.6.1定义：由于硅片或制绒原因造成的除以上异常外的其他明显外观异常，如不规则白斑、白色