材料科学与研究测试方法-第五章电子显微分析基础.pptVIP

第五章 电子显微分析基础2010.4 5.1光学显微镜的分辨率 1）一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P 区（几十埃）无能为力。 2）最小分辨距离计算公式 其中 ——最小分辨距离 ——波长 ——透镜周围的折射率 ——透镜对物点张角的一半， 称为数值孔径，用 N.A 表示 3) 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 4）对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 5）提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 5.4 电子衍射 按入射电子能量的大小，电子衍射可分为 透射式高能电子衍射 高能电子衍射（100KV以上） 反射式高能电子衍射 低能电子衍射（10-500V) 5.4.1 电子衍射与x射线衍射的异同点 电子衍射与X射线衍射一样，遵从衍射产生的必要条件（布拉格方程+反射定律，衍射矢量方程或厄瓦尔德图解等）和系统消光规律。 与X射线衍射相比，电子衍射的特点： （1）由于电子波波长很短，一般只有千分之几nm，按布拉格方程2dsin?=?可知，电子衍射的2?角很小（一般为几度），即入射电子束和衍射电子束都近乎平行于衍射晶面。 由衍射矢量方程（s-s0）/?=r*，设K?=s/?、K=s0/?、g=r*，则有 K?-K=g （5-22） 此即为电子衍射分析时（一般文献中）常用的衍射矢量方程表达式。 (2)由于物质对电子的散射作用很强（主要来源于原子核对电子的散射作用，远强于物质对X射线的散射作用），因而电子（束）穿进物质的能力大大减弱，故电子衍射只适于材料表层或薄膜样品的结构分析。 (3)透射电子显微镜上配置选区电子衍射装置，使得薄膜样品的结构分析与形貌观察有机结合起来，这是X射线衍射无法比拟的优点。 5.4.4 电子衍射基本公式 图5-6 电子衍射基本公式的导出 设样品至感光平面的距离为L（可称为相机长度），O?与P?的距离为R，由图5-6可知 tan2?=R/L (5-1) tan2?=sin2?/cos2?=2sin?con?/con2?；而电子衍射2?很小，有con??1、con2??1， 故式（5-1）可近似写为 2sin?=R/L 将此式代入布拉格方程(2dsin?= ? )，得 ?/d=R/L Rd=?L （5-24） 式中：d——衍射晶面间距（nm） ?——入射电子波长（nm）。 此即为电子衍射（几何分析）基本公式（式中R与L以mm计）。 电子衍射基本公式的导出 当加速电压一定时，电子波长?值恒定，则?L＝K（K为常数，称为相机常数）。 故式（5-24）可改写为 Rd=K （5-24） 按g=1/d[g为(HKL)面倒易矢量，g即?g?]，（5-24）又可改写为 R=Kg （5-25） 由于电子衍射2?很小，g与R近似平行，故按式（5-25），近似有 R=Kg （5-25） 式中：R——透射斑到衍射斑的连接矢量，可称衍射斑点矢量。 此式可视为电子衍射基本公式的矢量表达式。 由式（5-24）可知，R与g相比，只是放大了K倍（K为相机常数）。这就表明，单晶电子衍射花样是所有与反射球相交的倒易点（构成的图形）的放大像。 注意：放大像中去除了权重为零的那些倒易点，而倒易点的权重即指倒易点相应的（HKL）面衍射线之?F?2值。 需要指出的是，电子衍射基本公式的导出运用了近似处理，因而应用此公式及其相关结论时具有一定