第八章 透射电子显微镜结构2.ppt

第八章 透射电子显微镜结构 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 第一节 透射电子显微镜的结构 第二节 透射电镜的主要部件 第三节 透射电镜的发展 一、照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为满足明场和暗场成像需要，照明束可在2o～3o范围内倾斜。 1、电子枪 常用的是热阴极三极电子枪，它由（发夹形）钨丝阴极、栅极和阳极组成。 阴极：又称灯丝，一般是由0.03～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 栅极：控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”，是透射电子显微镜的电子源。 2、聚光镜 由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用，电子束穿过阳极小孔后，又逐渐变粗，射到试样上仍然过大。聚光镜就是为克服这种缺陷加入的，它有增强电子束密度和再一次将发散的电子会聚起来的作用。 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品，调节照明强度、孔径角和束斑大小。 一般采用双聚光镜系统：第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10～50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为0.2～0.75μm；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得0.4～1.5μm的照明电子束斑。 二、成像系统 成像系统——电镜中最关键部分，作用： 将来自试样不同点同方向同相位的弹性散射束会聚于其后焦面上，构成含有试样结构信息的散射样或衍射花样； 将来自试样同一点的不同方向的弹性散射束会聚于其像平面上，构成与试样组织相对应的显微象。 1、透射电镜成像原理 1874年，阿贝(E.Abbe)从波动光学的观点提出了一种成像理论，把物体通过凸透镜成像的过程分为两步： 从物体发出的光发生夫琅禾费衍射，在透镜的像方焦平面上形成其傅里叶频谱图； 像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。 电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程： （1）平行电子束与样品作用产生衍射波经透镜聚焦后在透镜背焦面形成衍射谱（衍射斑），即物的结构信息通过衍射谱呈现出来； （2）背焦面上的衍射斑发出的球面次级波通过干涉重新在像平面上形成反映样品特征的像。 晶体对于电子束就是一个三维光栅。 2、物镜 物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率，必须尽可能降低像差。通常采用强激磁，短焦距的物镜。 物镜是一个强激磁短焦距的透镜，它的放大倍数较高，一般为100-300倍。目前，高质量的物镜其分辨率可达0.1nm左右。 物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度。一般来说，极靴的内孔和上下极靴之间的距离越小，物镜的分辨率就越高。 为了减少物镜的球差，往往在物镜的背焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减少球差，像散和色差的作用，而且可以提高图像的衬度。此外，物镜光阑位于后焦面的位置上时，可以方便的进行暗场及衬度成像的操作。 在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间的距离总是固定不变的（即物距L1不变）。因此改变物镜放大倍数进行成像时，主要是改变物镜的焦距和像距（即f 和 L2）来满足成像条件。 3、中间镜 中间镜是一个弱激磁的长焦距变倍透镜，可在0-20倍范围调节。当M1时，用来进一步放大物镜的像；当M1时，用来缩小物镜的像。 在电镜操作过程中，主要是利用中间镜的可变倍率来控制电镜的放大倍数。如果物镜的放大倍数M0=100，，投影镜的放大倍数Mp=100，则中间镜放大倍数=20时，总放大倍数M＝l00×20×l00=200 000倍。若=1，则总放大倍数为10000倍。如果M=0.1，则总放大倍数仅为1000倍。 成像操作：如果把中间镜的物平面和物镜的像平面重合，则在荧光屏上得到一幅放大像，这就是电子显微镜中的成像操作。 电子衍射操作：如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，则在荧光屏上得到一幅电子衍射花样，这就是电子显微镜中的电子衍射操作。 4、投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上，它和物镜一样，是一个短焦距的强磁透镜。 特点： （1）投影镜的激磁电流是固定的，因此其放大倍数是固定的。 （2）成像电子束进入投影镜时孔径角很