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传感器与检测技术（第2版） 电子工业出版社 第2章 传感器的基本概念 内容提要及学习要求： 在当今信息化时代发展过程中，各种信息的感知、采集、转换、传输和处理的功能器件——传感器，已经成为各个应用领域，特别是自动检测、自动控制系统中不可缺少的重要技术工具。从航天、航空、兵器、船舶、交通、冶金、机械、电子、化工、轻工、能源、环保、煤炭、石油、医疗卫生、生物工程、宇宙开发等领域至农、林、牧、渔业，甚至人们日常生活的各个方面，几乎无处不使用传感器，无处不需要传感器技术。获取各种信息的传感器越来越成为信息社会赖以存在和发展的物质与技术基础。 2.1 传感器的定义与组成 传感器是一种能感受规定的被测量，并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。常用传感器的输出信号多为易于处理的电量，如电压、电流和频率等。 传感器一般由敏感元件、转换元件和信号调理与转换电路组成。其中，敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分；转换元件是指传感器中将敏感元件感受或响应的被测量转换成适用于传输或测量的电信号部分。由于传感器的输出信号一般都很微弱，因此需要有信号调理与转换电路对其进行放大、运算和调制等。随着半导体器件与集成技术在传感器中的应用，传感器的信号调理与转换电路可安装在传感器的壳体里或与敏感元件一起集成在同一芯片上，构成集成传感器（如美国ADI公司生产的AD22100型模拟集成温度传感器）。此外，信号调理与转换电路以及传感器工作时必须有辅助电源。传感器的组成如图2.1所示。 2.2 传感器的分类 传感器的工作原理各种各样，其种类十分繁多，分类方法也很多。按被测量的性质不同，主要分为位移传感器、压力传感器、温度传感器等。按传感器的工作原理，主要分为电阻应变式、电感式、电容式、压电式、磁电式传感器等。习惯上常把两者结合起来命名传感器，比如电阻应变式压力传感器、电感式位移传感器等。 按被测量的转换特征，传感器又可分为结构型传感器和物性型传感器。结构型传感器是通过传感器结构参数的变化而实现信号转换的。如电容式传感器依靠极板间距离变化引起电容量的变化。物性型传感器是利用某些材料本身的物理性质随被测量变化的特性而实现参数的直接转换。这种类型的传感器具有灵敏度高、响应速度快、结构简单、便于集成等特点，是传感器的发展方向之一。 按能量传递的方式，还可分为能量控制型传感器和能量转换型传感器两大类。能量控制型传感器的输出能量由外部供给，但受被测输入量的控制，如电阻应变式传感器、电感式传感器、电容式传感器等。能量转换型传感器的输出量直接由被测量能量转换而得，如压电式传感器、热电式传感器等。 2.3 传感器的基本特性 在测试过程中，要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换成容易测量的量。被测量一般有两种形式：一种是稳定的，即不随时间变化或变化极其缓慢，称为静态信号；另一种是随时间变化而变化，称为动态信号。由于输入量的状态不同，传感器所呈现出来的输入-输出特性也不同，因此，传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。 2.3.1 传感器的静态特性 传感器的静态特性是指被测量的值处于稳定状态时的输出-输入关系。衡量静态特性的重要指标是线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂移等。 1．线性度 传感器的线性度是指其输出量与输入量之间的实际关系曲线（即静特性曲线）偏离直线的程度，又称非线性误差。静特性曲线可通过实际测试获得。在实际使用中，大多数传感器为非线性的，为了得到线性关系，常引入各种非线性补偿环节。如采用非线性补偿电路或计算机软件进行线性化处理。但如果传感器非线性的次方不高，输入量变化范围较小时，可用一条直线（切线或割线）近似地代表实际曲线的一段，如图2.2所示，使传感器输出-输入线性化。所采用的直线称为拟合直线。实际特性曲线与拟合直线之间的偏差称为传感器的非线性误差（或线性度），通常用相对误差 表示，即： （2-1） 式中，?Lmax是最大非线性绝对误差； 是满量程输出。 从图2.2可见，即使是同类传感器，拟合直线不同，其线性度也是不同的。选取拟合直线的方法很多，常用的有端点法、割线法、切线法、理论直线法、最小二乘法和计算机程序法等，用最小二乘法求取的拟合直线的拟合精度最高。 2．灵敏度 灵敏度S是指传感器的输出量增量 与引起输出量增量 的输入量增量 的比值，即： （2-2） 对于线性传感器，它的灵敏度就是它的静态特性的斜率，即S为常数；而非线性传感器的灵敏度为一变量，用 表示。传感器的灵敏度如图2.3所示。