检测与转换技术第4章.pptVIP

第四章 传感器的特性 第一节 传感器的定义及分类 一、非电量测试技术中,具有将各种非电量变换为电量功能的装置称为传感器. 二、传感器的种类很多,一般有以下几种分类: （1）根据输入物理量 （2）根据工作原理 （3）根据输出信号的性质 （4）根据能量转换原理 1.1 传感器的发展 第四章 传感器的特性 第一节 传感器的定义及分类 一、非电量测试技术中,具有将各种非电量变换为电量功能的装置称为传感器. 国家标准GB 7665-87对传感器下的定义是: “能够感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置, 通常由敏感元件和转换元件组成”。　 敏感元件, 是指传感器中能直接感受或响应被测量（输入量）的部分; 转换元件, 是指传感器中能将敏感元件感受的或响应的被探测量转换成适于传输和（或）测量的电信号的部分。  二、传感器的分类 第二节 传感器的一般特性 一、静态特性 衡量传感器静态特性的重要指标是： （1）线性度 （2）迟滞 （3）重复性 （4）灵敏度 几种不同线性度的定义和表示方法。 端基线性度: 以校准曲线的零点输出和满量程输出值连成的直线为拟合直线。  独立线性度: 作两条与端基直线平行的直线, 使之恰好包围所有的标定点, 以与二直线等距离的直线作为拟合直线。 平均选点线性度 最小二乘法线性度: 以最小二乘法拟合的直线为拟合直线。  端基线性度 平均选点线性度 最小二乘法线性度 假定拟合直线方程为： y=b+kx △i=yi-(b+kxi)称第i个较准数据与拟合直线之间的残差． 最小二乘法拟合直线的拟合原则就是使 为最小． 2. 迟滞 　　 输入逐渐增加到某一值, 与输入逐渐减小到同一输入值时的输出值不相等, 叫迟滞现象。迟滞差表示这种不相等的程度。 其值以满量程的输出YFS的百分数表示。  3重复性 　重复性表示传感器在输入量按同一方向作全量程连续多次变动时所得的特性曲线不一致的程度。 灵敏度界限（阈值） 　　 输入改变Δx时, 输出变化Δy, Δx变小, Δy也变小。但是一般来说, Δx小到某种程度, 输出就不再变化了, 这时的Δx叫做灵敏度界限。  　　 存在灵敏度界限的原因有两个。一个是输入的变化量通过传感器内部被吸收, 因而反映不到输出端上去。 典型的例子是螺丝或齿轮的松动。 二、传感器的动态特性 大多数情况下传感器的输入信号是随时间变化的, 这时要求传感器时刻精确地跟踪输入信号, 按照输入信号的变化规律输出信号。当传感器输入信号的变化缓慢时, 是容易跟踪的, 但随着输入信号的变化加快, 传感器随动跟踪性能会逐渐下降。 输入信号变化时, 引起输出信号也随时间变化, 这个过程叫做响应。 　动态特性是指传感器对随时间变化的输入量的响应特性。 　　实际被测量随时间变化的形式可能是各种各样的，在研究动态特性时通常根据传感器对标准输入信号的响应来进行分析。标准输入有两种：正弦和阶跃。 * 人类为了从外界获取信息, 必须借助于感觉器官. 随着科学技术的发展和人类社会的进步, 人类为了进一步认识自然和改造自然, 只靠这些感觉器官就显得很不够了。 一系列代替、 补充、 延伸人的感觉器官功能的各种手段就应运而生, 从而出现了各种用途的传感器。  传感器的历史可以追溯到远古时代, 公元前1000年左右, 中国的指南针已开始使用。 第四章 传感器的特性 埃及王朝时代开始使用的天平, 一直延用到现在。 利用液体膨胀进行温度测量在16世纪前后就已出现。 19 世纪建立了电磁学的基础, 当时建立的物理法则直到现在作为各种传感器的工作原理仍在应用着。  以电量作为输出的传感器， 其发展历史最短, 但是随着真空管和半导体等有源元件的可靠性的提高,这种传感器得到飞速发展。目前只要提到传感器, 一般是指具有电输出的装置。 由于集成电路技术和半导体应用技术的发展, 研究开发了性能更好的传感器。 随着电子设备水平不断提高以及功能不断加强, 传感器也越来越显得重要。 世界各国都将传感器技术列为重点发展的高新技术, 传感器技术已成为高新技术竞争的核心技术之一, 并且发展十分迅速。  近年来, 由于微电子技术、 微机械加工技术、 纳米技术的迅速发展, 传感器领域的主要技术也将在现有基础上予以延伸和提高:  （1） 微机械加工技术（MEMT）和纳米技术将得到高速发展。 采用MEMT制作的传感器和微系统, 具有体积微小、 低成本、 高可靠性等独特的优点。  （2）新型敏感材料将加速开发, 微电子、 光电子、 生物化学、