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信号处理系统框图 5、激光螺距检查仪 1、消除螺母周期性倾斜 2、消除轴向窜动 6。双座标激光干涉测量系统 应用在精密X－Y工作台上。 也可用独立的2台干涉仪实现。 如：金刚石车床。 单光束三维干涉仪在加工中心上安装示意图 7。 单光束三维干涉仪（单光束、多通道） 用激光干涉测量重力加速度 激光干涉在精密定位中的应用 平面镜干涉系统光路图 平面镜干涉系统倾斜光路图 特点：（1）分辨率增加一倍。 （2） 第一次反射偏斜与第二次的反射偏斜相互补偿。 用声光移频器件实现的外差干涉系统 1。激光外差测振仪原理 NASA激光外差测振仪光路 Vs=25MHz DISA激光外差测振仪光路 清华研制的磁盘平面度测量仪 在机械加工过程中，由于刀痕、切削过程中切屑分离时的塑性变形、工艺系统中的高频振动、刀具和被加工表面的摩擦等等原因，会使被加工零件的表面产生微小的峰谷。这种被加工面所存在的较小间距和峰谷组成的微观几何形状特征，就是零件的表面粗糙度。 第四章 表面粗糙度测量与表面形貌分析用干涉仪 第1节 概述 现在表面分析技术已远走出机器零件表面粗糙度测量的范围。 表面形貌测量 微电子工业：硅片、磁盘表面、光盘，光学元件窗片 材料科学：表面形貌分析，材料微裂纹 生物工程：细胞、生物芯片、遗传学 科学研究：纳米技术，物理、化学、生物等基础科学 等等 特点：通常 量程小、测量分辨率高（nm）、非接触、无目标靶。 二十世纪初，精密机械的制造精度（包括系统误差和随机误差）仅为10μm 左右； 发展到二十世纪九十年代，已提高到了几个nm； 预期21世纪初，将达到纳米甚至亚纳米量级。 主要表面形貌微观测量仪性能比较 第2节 相移干涉技术 分步相移干涉原理： h：被测表面微观不平度。 （1）三步法 采用三个相移台阶（－α，0，α） 对于样品表面（x，y），可以写出 则： （2）四步法 采用四个相移台阶（0，π/2，π，3π/2） 则： （3）Carre法 采用四个相移台阶（ －3α， －α， α ，3α ） （4）多步法 采用N步等间隔相移台阶，即 2。连续相移干涉测量原理 h：被测表面微观不平度。 如果干涉仪参考臂连续调制且调制幅度小于2π，即 将δ(t)代入，并以Bessel函数展开 只有当 即锁定在极值点上。最后一项为0，无奇次谐波。 干涉显微镜 1986年WYKO公司研制成功的TOPO非接触微表面测量系统。 测量精度达 自动完成测量。 Mirau干涉仪的改进： R被固定在PZT上。 带有旋转检偏器测相的改进的微分干涉显微镜（清华） 垂直分辨率优于1nm，水平分辨力0.4μm Nomarski干涉显微镜及改进 第3节 共模抑制干涉仪 干涉测量中的自适应原则 在精密测量仪器设计时，不但要构成测量信号的载体，而且要对主要噪声（扰动）因子对测量的影响进行实时的或短期的预报和补偿，以消除其对测量的影响。 1。探测光路和参考光路均由被测表面反射 2。无需参考面 3。扫描时工作台导轨不直带来的工件少量倾斜不影响测量。 共模抑制干涉 共光路光学探针 PD1的光拍为 PD2的光拍为 所以求出两者位相差，即可求 h 。 线纹尺干涉比长仪的光电显微镜瞄准 光电显微镜光学系统和双管信号合成图 动态光电显微镜电路逻辑方框图 激光振动校准系统 振动光电信号的傅立叶分解 激光外差干涉仪 单频激光干涉仪的光强信号及光电检测器转换后的电信号都是直流量（还可称为零差干涉仪、直流干涉仪）。直流漂移是形成测量误差的重要原因，信号处理仔细分都比较困难，采用双频光源的外差干涉仪使光、电信号均成为交流量，不仅克服了上述单项频干频仪的漂移问题，而且使细分变得容易，显著提高了抗干扰性能。 利用外差原理实现各类实用的干涉测量仪器 双频激光干涉仪、外差干涉仪、外差测振仪等各类精密测量仪器。 国产双频激光干涉仪（机械部成都工具所） HP公司双频激光干涉仪（HP5528A） HP公司双频激光干涉仪数显箱（HP5528A） 光在进入偏振分光镜前均应转换为振动方向正交的两线偏振光，分别以E1、E2表示 E1、E2被偏振分镜分开，E1进入测量臂，E2进和参考臂，由两角隅棱镜反射，在偏振分光镜会合成为 频率相近的两束光叠加形成“拍” 检偏器P2的通光轴平分两线偏振光振动方向，通过检偏器以后 发生拍频，成为 光强信号的交流分量为 式中：I为光强幅值，