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微机电系统(MEMS)混合进化计算互动综合设计 Ying Zhang1 and Alice M. Agogino21 School of Electrical and Computer Engineering, Georgia Institute of Technology, GA, USA yzhang@gatech.edu 2 Department of Mechanical Engineering, University of California at Berkeley, CA, USA agogino@berkeley.edu 摘要：一互动的混合进化计算(IHC)过程微机电系统(MEMS)设计合成进行了概述,使用人类的专业知识和当地的绩效的改进来增强性能的进化过程。人类的专长确定良好的设计模式,当地的市场优化使他们发挥其在早期阶段的演变过程潜力与此同时,当地的一些反馈意见确定和优化人类的评估IHC过程的优势,说明了微谐振器的测试用例。关键词:互动的混合计算、微机电系统(MEMS)的合成、进化 计算优化设计。基于演化计算的多目标遗传算法(MOGA)被用于微机电系统(MEMS) 综合设计 [1,2]。现有基于梯度的局部优化结合末端的进化过程中,指“标准增韧等混合遗传算法过程”,被证实能改善进化的微机电系统(MEMS)的性能设计合成工艺[3]。本文 探讨,以使在较早阶段的演变过程引导搜索走向更加应用局部改进可能计算大型复杂问题整个群体,像禁止性微机电系统(MEMS)设计合成另,在限制个进行局部优化的量化基础上,通过当地适应度函数并不保证所有都的改善,。只要调或如果给予学生足够的时间进化演化过程。交互式进化计算模型(IEC)是一种利用人类的经验与演算法为搜索,在IEC过程中,人类专家主观地健康价值观是建立在他们的或识别创新设计模式潜力。人判断来指导进化过程中都有潜在的优点和缺点。一方面,能有效地利用人类专家指导的进化过程。另一方面,包括人类进化环预防。为解决人类的疲劳问题, Kamalian在IEC(国际电工委员会)过程[6]评价监督作用为了减少人的主体性和评估在进化过程中,我们提出一个互动的混合计算(IHC),用局部优化微调所选的设计,这些设计发挥其在早期潜力的合成过程。这些设计也有其有利的一面确认和精炼人主观评估这些设计时间。IHC过程的优势是论证谐振器2、混合计算IHC互动过程利用人类专家IHC能识别潜在的良好设计模式,使用局部优化的结果来提炼强烈设计价值和减少主观性和人类的评估的影响IHC 过程中,人类设计师评价所有的设计或其中的一个集如那些在帕累托最优适应函数集的多,在申请当地的改进之前。在混合进化过程减少人们的疲劳,人力投入的定义在MEMS谐振器测试例,HIC提供设计师在一个图形用户界面 (图1)预定义评价所有的设计或者他们在当前部分。如果设计师标识一个有前途的设计模式,他/她可以点击local_Opt ”按钮使微机电系统(MEMS)的合成工艺应用现有基于梯度的局部优化。现有基于梯度的局部优化后被执行了斜拉索的几何参数优化和性能设计将会回馈到这个基因和表型范围的总装工艺取代原有的设计 Fig. 1. Graphical User Interface during IHC Processes 3、 IHC的评价过程。 实验设计两个试验:(1)标准混合遗传算法流程;(2)一个随机的混合遗传算法的过程。研究了评价过程, IHC过程帕累托最优设计和组预定义中间几代人应用局部优化提出了一种基于随机混合遗传算法随机选取同样数量的过程第二项实验是为了测试IHC是从人类的相互作用或中级的局部优化一系列的谐振器设计的案例分析,作为实验测试谐振器设计是用于类似[3],[8]为目的的比较。这些测试是对称的设计角度,没有约束提供了比较大型的设计搜索空间。设计目标认为:(1)从目标误差最小 (设计在一个可接受的误差范围内,5%,被认为是可行的设计);(2)最大限度地减少设计面积;(3)满足刚度比的要求测试被设计比较IHC标准的混合遗传算法流程。应用于[3]和[8]的情况,其他4例以随机产生的设计目标自然共振频率值1,000Hz和10,000Hz之间刚度比率介于1和10。客观的价值,对这6测试用例都列在表1Table 1. Design Objective Goals for the Test Cases (in addition to area minimization) 所有的测试有形中心与固定的几何,有一个附有四30μmx 50μm100μm x 100μm矩形板连接到中心梳驱动器的质量也有固定结构。每个梳11个手指,50μm驱动长4μm，宽3μm，再加上一个4μm脊柱弹簧连接中心质量参数都是免费弹簧一样的约束条件下,讨论了在[3]和