原创力文档- 1、本文档共195页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
Centrotherm PECVD中文设备操作规程
PECVD E2000 HT 320-4
操作规程
用于水平炉设备
版本 1.0
E2000 HT 320-4
08.06.13
China_PECVD_OperatingInstruction_preliminary
E2000 HT 320-4
文档信息
文档信息
类型： 原版操作规程的翻译件
作者： Abe/Frisch/Fiesel/Endlich
文档： China_PECVD_OperatingInstruction_preliminary
(Foundation P46512)
创建日期： 08.06.13
当前版本： 08.06.13 10:03
修正说明
版本 日期 姓名 修正说明
V 1.0 08/04/09 E. Frisch 手册基于主文档 2.5
08.06.13
China_PECVD_OperatingInstruction_preliminary
E2000 HT 320-4
文档信息
08.06.13
China_PECVD_OperatingInstruction_preliminary
E2000 HT 320-4
目录
1-1
文档评论（0）