cuag双层膜沉积与拉伸变形的分子动力学研究word格式论文.docxVIP

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2018-05-18 发布于上海
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cuag双层膜沉积与拉伸变形的分子动力学研究word格式论文.docx

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cuag双层膜沉积与拉伸变形的分子动力学研究word格式论文

AbstractLimitedbythespatialandtemporalscales,transientbehaviorsofatomscannotbeobservedintheexperimentofthegrowthandmicro-deformationoffilms.To makeupforthisdeficiency,focusesontrackingtheprocessofthegrowthanddeformationoffilmsdirectlyandanalyzingtheinfluenceofthedepositionprocess andtheplasticdeformationbehavioroffilmscausedbyparametersusingcomputersimulationattheatomic scalethispaper.Inordertostudytheinfluenceofthedepositionprocessandthedefectfeatures ofthebilayer filmsin theplasticdeformation,wesimulate the process ofthedepositionandthebiaxialanisometrytensiledeformationoftheAg/Cu(111), Cu/Ag(111)systemby moleculardynamics method.Inthispaper,wehavestudiedtheinfluenceofthedepositionprocessofCu/Agbilayerfilmscausedbyeachdepositionparameter.TheresultsshowthatittendstobelaminargrowthinAg/Cu(111)systemwhileislandgrowthinCu/Ag(111)system.Increasingthedepositionenergyandsubstratetemperaturecanimprovethesurfacequality.Atthesametime,theinterfacemixingdegreeisincreasedlinearlyandthestresschangesfromtensilestresstocompressivestress.Substratetemperatureplays animportantroleonsurfacequalitywhenthedepositionenergyislow(4eV). Surfacequalitycanbeimprovedbydecreasingtheincidentangleorincreasingthedepositionrate.Theintermixinggetstheminimumpoint.However,theintermixinggetsstrengthened either thedeposition rateistoolowor toohigh.The stressissmallwhenthedeposition rate is low whilelarge when the deposition rate ishigh.Andthestressispositive.Inthispaper,wehave studiedtheinfluenceof on Cu/Agbilayerfilms,Cufilms andAgfilmscaused,strainrateandtemperature.ItshowsthattheformationanddevelopmentofdislocationappearsfirstlyattheinterfaceintheplasticdeformationprocessoftheCu/Agbilayerfilms.However,heterogeneousnucleialsocanbeobservedattheinteriororthefreesurfaceathighstrainrate.Maindefecttypes includepartialdislocations,intrinsicstackingfaults,extrinsicstackingfaultandstacking-fault-tetrahedron,whichcanonlybeobservedintheCulayerandspreads towardstheinterface.Surfaceroughnessgetsthemaximumpointat