M5111-4WP三闭管软着陆扩散氧化系统(最新型).pdfVIP

M5111-4WP/UM 型三管高温扩散/氧化系统方案 随着晶体硅太阳能电池制造技术的日益发展与成熟，在保证现有电池产品 光电转换效率及质量的基础上如何有效降低制造成本、提高自身产品市场竞争 力已成为光伏界各电池生产厂家决策者所普遍关注和急需解决的一个实际问 题。 目前，太阳能电池片尺寸主要以125mm×125mm、156mm×156mm方片为主。 为了获得更优的扩散质量、提高单批次电池片的产量、降低单体电池制造成本， 采用厚度更簿、尺寸更大的电池片将是太阳能电池制造的一个发展方向。大口 径超长恒温区软着陆闭管扩散系统在这种大环境下顺势而生，它与常规扩散/氧 化系统相比较，一方面延续了我所原有扩散/氧化设备的所有成功技术，能给客 户带来更高的单批次产量 （单管批次产量为400 片），并且更加有利于降低源耗， 大幅度降低生产成本、提高生产效率；另一方面又给我们提出了更高的要求：1、 超大口径炉膛内径 Ф330mm、超长温区 1080mm 炉体的设计制造与炉内温区全程 自动校准，快速回温控制技术；2、炉内气氛压力全程自动平衡技术；3、超长 超大反应管内气流均匀性、扩散均匀性的实现技术；4、大尺寸闭管炉门密封技 术及工艺尾气的定向有效收集与排放；5、推舟机构升降运动及水平运动的高可 靠性和高平稳性等等。 M5111-4WP/UM 型高温扩散/氧化系统为闭管扩散 （洁净扩散），工艺过程SiC 桨退出石英管，反应环境与外界环境完全隔离。采用了拥有自主知识产权的炉 内压力自平衡系统，炉温快速回温系统以及独有送气方式，确保工艺过程不受 外界环境变化的干扰，因此扩散质量大大提高，单批次产量可达 400 片/批，而 且特别节源、节能,有毒害工艺副产物生成量大大降低；采用尾气定向收集排放 的方式，使整个生产过程更加清洁、环保、卫生。 本设备主要由电控柜 1 个、净化操作台 1 个、加热炉柜 1 个、功率变压器 柜1 个及气源柜1 个五部分组成。 1.主要技术指标 1.1 炉膛有效内径： Ф350mm (适应石英管内径Ф330mm) 1.2 温度控制范围： 400～1100℃； 有效装片量： 400 片/管 1.3 恒温区长度及精度： ≤±1℃/1080mm （801～1100℃） ≤±1.5℃/1080mm （400～800℃） 1.4 单点温度稳定性： ≤±1℃ /4h （880℃时）； 1.5 温度斜变能力: 升温速率: ≥15℃/min 最大降温速率: 5℃/ min； 1.6 具有自动斜率升降温及恒温功能； 1.7 具有炉管快速回温系统；可全程自动校准恒温区。 具有炉内压力自平衡系统； 1.8 尾气收集方式：尾部集中收集，定向排放； 1.9 具有超温、断偶、断水、断气报警和保护功能； 1.10 净化工作台净化级别：1000 级 （环境10000 级）； 1.11 送片方式： 悬臂式 SiC 桨软着陆送舟机构。水平进舟速率 50mm/min～800mm/min 连 续可调；定位精度： ≤±3mm 。垂直升降速率: 8mm/min～12mm/min； 石英炉门自动密封，气缸推动完成水平二级推动和旋转运动。 1.12 工艺过程由工控计算机全自动控制,直接在触摸屏上操作。 1.13 可存储100 条工艺曲线、每条曲线不少于30 个拐点； 1.14 源温采用BV100 恒温槽控制。 1.15 质量流量计控制精度: ≤±1% FS； 1.16 设备故障率: ≤5%； 1.17 设备总功率:峰值≤150 KVA（3 管），保温功率约 75KVA（3 管）。 1.18 炉管温控系统采用五段控温。 2.使用环境要求： 2.1 电源：3 相 5 线供电，380VAC、50HZ ，电网电压波动不超过额定值 的±10%。 2.2 水、气：供应水压要求0.1～0.2Mpa，设备预留 4 分水管内丝接口， 进水口水温≤20℃；供应气压要求0.4～0.6Mpa，设备预留3/8″进 气双卡套