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化学浴沉积法制备fes2薄膜及光学性能分析word格式论文
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The change of the band gap was closely related to the electronic structure density of FeS2. The study of electronic structure could provide theoretical guidance to the properties of the FeS2 materials doped with some elements. The band structure and the state density of the films were calculated based on the first-principles of Density Functional Theory. The reckoning showed that the band structure of the films and the local density of the Fe atom and the S atom both changed because of doping Mn.
KEY WORDS: FeS2 thin films, Chemical bath deposition, Doping, Optical properties, First principles calculation
目 录
第一章 文献综述 1
1.1 引言 1
HYPERLINK \l _TOC_250007 1.2 FeS2 的基本特性 4
HYPERLINK \l _TOC_250006 1.3 FeS2 薄膜的制备方法 4
HYPERLINK \l _TOC_250005 1.3.1 直接法制备 FeS2 薄膜 5
HYPERLINK \l _TOC_250004 1.3.2 间接法制备 FeS2 薄膜 6
1.3.3 其它方法 9
1.4 化学浴沉积法 12
HYPERLINK \l _TOC_250003 1.4.1 CBD 方法简介 12
1.4.2 化学浴沉积的反应原理 12
HYPERLINK \l _TOC_250002 1.4.3 CBD 薄膜的两种生长模式 13
1.4.4 化学浴沉积的特点 14
HYPERLINK \l _TOC_250001 1.5 FeS2 薄膜的光学性能 15
HYPERLINK \l _TOC_250000 1.6 FeS2 薄膜的掺杂改性 17
1.7 本文的研究意义和主要内容 18
第二章 实验方法与过程 20
2.1 实验原料及仪器 20
2.1.1 实验原料 20
2.1.2 实验设备 20
2.2 实验过程 21
2.2.1 基底的清洗 21
2.2.2 FeS2 薄膜的制备 21
2.2.3 Mn 掺杂 FeS2 薄膜制备 23
2.3 薄膜的结构与光学性能表征 23
.物相分析 23
Raman 光谱分析 23
2.3.3 表面形貌分析及化学组成分析 24
2.3.4 薄膜光学性质测试 24
第三章 硫化参数对 FeS2 薄膜组成及其光学性能的影响 25
3.1 先驱体薄膜的形成机理和表征 25
3.2 硫化参数对薄膜组成的影响 27
3.2.1 硫化温度对薄膜组成的影响 27
3.2.2 硫化时间对薄膜组成的影响 30
3.2.3 降温速率对薄膜组成的影响 31
3.3 不同硫化时间下薄膜形貌的变化 34
3.4 不同硫化时间下薄膜光学性能的变化 35
3.5 本章小结 37
第四章 Mn 掺杂对 FeS2 薄膜组织形貌及光学性能的影响 38
4.1 先驱体膜的形成机理 38
4.2 不同掺杂量薄膜化学组成分析 39
4.3 掺杂量对薄膜晶体结构的影响 41
4.4 掺杂量对薄膜形貌的影响 43
4.5 掺杂量对光学性能的影响 44
4.5.1 掺杂量对薄膜光吸收系数的影响 44
4.5.2 掺杂量对薄膜禁带宽度的影响 45
4.6 本章小结 46
第五章 Mn 掺杂 FeS2 电子结构的第一性原理研究 47
5.1 第一性原理计算方法介绍 47
5.1.1 第一性原理计算方法 47
5.1.3 密度泛函理论 48
5.1.4 CASTEP 介绍 48
5.2 FeS2 的几何模型和电子结构 49
5.2.1 FeS2 模型的建立 49
5.2.2 截断能 cutoff 与 K-point 的确定 50
5.2.3 能带结构和态密度 53
5.3 Mn 掺杂 FeS2 电
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