第四次 真空技术基础.pptVIP

* 2.4 真空泵与真空规 2.4.1 真空泵 真空系统：真空室，真空泵，真空规，管道，阀门等 前级泵：能使压力从一个大气压力开始变小，进行排气的泵 次级泵：只能从较低压力抽到更低的压力的泵 真空系统的指标：极限压力（极限真空） Pm，抽气速率 真空泵对i气体成分所能获得的极限压强 Si泵对i气体的抽气速率；Pi被抽空间中气体成分分压 Qi真空室中各种气体源；V真空室容积 理论上一个真空系统所能达到的真空度p 设最大抽速为100% 旋片将泵腔分为： 从进气口到旋片分隔的吸气空间； 由两个旋片与泵腔分隔出的 膨胀压缩空间； 排气阀到旋片分隔的排气空间。 扩散泵油含有挥发性大的和挥发性小的成分前者不利于极限真空，故可让挥发性大的部分处在低真空下，挥发性小的处在高真空下工作。 油蒸汽经伞 形喷嘴向 外 喷出，其射流速 度高（二百m/s-2倍音速），导致这里的压强低，真空室中的气体分子与高速油分子之间碰撞被赶向下方，形成密集气体分子流，再被前置泵抽走，而油被冷凝。