介质阻挡放电图像识别方法及均匀性影响分析-identification method of dielectric barrier discharge image and analysis of its uniformity influence.docx
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介质阻挡放电图像识别方法及均匀性影响分析-identification method of dielectric barrier discharge image and analysis of its uniformity influence
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华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文
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摘 要 HYPERLINK \l _bookmark1 ?
介质阻挡放电(DBD)是一种典型的能够在常温常压下产生大量高能量密度的非 平衡等离子体源,目前已被广泛应用于臭氧制备、高功率激光器、等离子体流动控制 等诸多领域。由于工业应用的需要,放电的均匀性一直是研究的热点问题。目前所谓 均匀放电仅指的是短时间尺度上(ns 级)无任何微放电细丝的绝对均匀放电,但实际 上工业应用并不需要限制在这种绝对均匀的放电上。相反,更为需要的是由大量微放 电细丝构成的长时间尺度上相对均匀的放电。由此引出这种放电的均匀性如何定量评 价的问题,如何产生不同均匀性的放电及提高均匀性的问题,以及均匀放电和绝对均 匀放电的物理机制问题。本文以 DBD 均匀性为主要研究对象,通过采用数字图像处 理技术并结合电气参数测量手段及近似解析计算方法对其开展了研究,所取得的成果 如下:
提出了一种利用数字图像处理技术中的灰度直方图(GLH)来定量识别 DBD 均 匀性的新方法。该方法克服了传统方法复杂、繁琐及价格昂贵等缺点,能够简单和有 效地识别丝状和均匀放电模式并定量评价放电均匀性。GLH 方法的有效性得到了能产 生绝对均匀放电的低气压实验和一般采用的电流波形区别方法的验证。在此基础上, 通过采用信赖域算法求解非线性最小二乘问题得到双高斯及单高斯概率模型的参数, 建立了丝状和均匀放电的灰度概率模型并将该模型应用于 DBD 放电特性的研究。
提出了通过数字图像处理技术中的傅里叶能量谱(FES)、空间自相关函数(ACF) 及灰度共生矩阵(GLCM)来定量识别 DBD 图像空间结构的方法。ACF 方法具有噪 声抑制能力强、对象识别能力强、不需要任何预处理过程等明显优点,有效识别了丝 状、周期性及均匀放电图像的空间结构。该方法的有效性通过对 DBD 斑图空间结构 的识别得到验证。
研究了丝网电极对 DBD 均匀性的影响。(1)实现了具有空间周期特征丝网电极 的均匀放电,部分特征尺度下的均匀性要好于平板电极。实验结果表明:如果丝网电 极的孔径 L 足够大(L≥1.5mm),周期性的放电点将在每一个网格点上出现;如果 L 相对较小(1.25mm≥L≥0.6mm),周期性的放电点将交替出现;如果 L≤0.5mm,放电 点将随机分布在电极表面,且其密集程度会超过平板电极,其中放电点没有产生在每
????国家自然基金资助项目II
一个网格点上的原因与电子崩尺寸大小有关。FES 及 ACF 分析验证了上述实验结果。
(2)提出了定量评价 DBD 均匀性的指标——图像的灰度变异系数(CV):CV 越小, 放电越均匀,反之,则越不均匀。研究结果表明,在一定程度上,随着 L 的减小,CV 逐渐减小,放电均匀性逐渐增加。(3)提出了控制丝网放电均匀性的标度不变量 h 来 分析导致相对均匀 DBD 的物理机制,其中 h 包含了 L 及归一化的电子崩头部电场变化 率的综合效应。研究结果表明,不同丝网电极 h 的变化趋势和 CV 的变化趋势基本一 致,意味着采用 h 可以从理论上较好地解释导致丝网电极放电均匀性的物理机制。
研究了气体成分对DBD均匀性的影响。(1)发现采用GLH方法可以识别不同性质 气体放电的均匀性。研究结果表明,非惰性气体(空气和氮气)放电图像对应的GLH 及CV与外电压的关系曲线与惰性气体(氦气和氩气)存在明显不同,前者分别具有 更大的半高宽及产生了明显的向右偏移。(2)发现氮气中加入氩气有利于提高放电均 匀性。CV计算结果表明,空气、氮气、氦气、氮气/氩气混合气体及氩气放电图像对 应的CV依次减小,放电均匀性依次增加。(3)DBD微放电扩展等效电气模型的计算 结果表明,具有较小击穿电
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