金 刚石刀具精密切削加工.pptVIP

依靠液压/气压系统供给压力油，压力油在轴承腔内强制形成压力油膜/空气膜，以隔开摩擦表面。 静压轴承 油腔 回油槽 节流装置 F R 液体静压轴承 特点：回转精度高、转动平稳、承载能力高。主要用于大型超精密加工机床。 缺点：高速下，油温升高，造成热变形，影响主轴精度。 回油时，将空气带入油源，降低轴承刚度和动态特性。 措施：提高油压，控制油温。 液体静压轴承 空气静压轴承 特点： 回转精度高、转速高，可达100,000r/min。 转动平稳、几乎没有振动，因为完全空气润滑。 不发热、即使在高速下，温升很小，变形小。 摩擦阻力小、寿命长，因为几乎没有摩擦。 因为不使用油，不存在密封和泄露问题。 可靠性高、维护保养方便。 空气静压轴承 缺点：刚度低，承载能力不如液体静压轴承高，主要用于中、小型超精密加工机床。 目前，超精密加工技术在国际上处于领先地位的国家有美国、英国和日本等西方发达国家。 美国是开展超精密加工技术研究最早的国家。早在50年代末，由于航天等尖端技术发展的需要，美国首先发展了金刚石刀具的超精密切削技术，称为“SPDT”（Single Point Diamond Truning），并发展了相应的空气轴承主轴的超精密机床，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面非球面大型零件等等。 美国超精密加工技术水平最高，不仅开发出小型超精密机床，而且发展大型超精密机床。 美国有著名的POMA（Point One Micrometer Accuracy）计划，目标精密0.01μm。 日本对超精密加工技术的研究相对于美、英来说较晚，但是当今世界上超精密加工技术发展最快的国家。 日本在用于声、光、图像、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面，是更加先进和具有优势的，在中小型超精密机床方面，已基本与美国并驾齐驱，甚至超过了美国。 日本提出“超精密机床”规划。以纳米级精密作为目标。 欧洲国家，如德国、英国、瑞士、法国、意大利等国的超精密机床水平也很高。 我国的超精密机床方面与国外差距很大。 超精密加工机床技术在70年代末期有了长足进步，80年代中期出现了具有接近世界水平的超精密机床和部件。 北京机床研究所是国内进行超精密加工机床技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件，如JCS-027超精密车床、 JCS-031超精密铣床、 JCS-035超精密车床、 超精密车床数控系统达到了国内领先、接近国际先进水平。 航空航天工业部三零三所在超精密主轴、花岗岩坐标测量机等方面进行了深入研究及产品生产。。 哈尔滨工业大学在金刚石超精密切削、金刚石刀具晶体定向和刃磨、金刚石微粉砂轮电解在线修整技术等方面进行了卓有成效的研究。 清华大学在集成电路超精密加工设备、磁盘加工及检测设备、微位移工作台、超精密砂带磨削和研抛、金刚石微粉砂轮超精密磨削、非圆截面超精密切削等方面进行了深入研究，并有相应产品问世。 中科院长春光学精密机械研究所、华中理工大学、沈阳第一机床厂、成都工具研究所、国防科技大学等都进行了这一领域的研究。 总的来说，我国在超精密加工的效率、精密可靠性，特别是规格（大尺寸）和技术配套性方面与国外、与生产实际要求比，还有相当大的差距。 Union Carbide 公司的半球机床 1962年研制成功。 采用空气静压轴承，立式结构。 能加工直径100mm的半球，尺寸精 度0.6μm，表面粗糙度0.025μm。 精密空气轴承主轴采用多孔石墨 制成轴衬，径向空气轴承的外套 可以调整自动定心，可提高前后 轴承的同心度，以提高主轴的回 转精度。 用金刚石刀具可实现镜面切削。 二 典型的超精密加工机床 美国Moore金刚石车床 1968年研制成功，主轴采 用空气静压轴承，卧式结构， 转速5000转/分，径跳＜0.1； 液体静压（气浮）导轨； 精密数控系统分辨率0.01μm， 激光测量、精度高，刚度高、 稳定性好、抗振性好 Moore金刚石车床 回转工作台 工件 刀具 主轴 传动带 主轴电机 空气垫 刀具夹持器 如：美国LLL实验室和Y－12工厂在美国能源部支持下，于1983年7月研制成功大型超精密金刚石车床DTM－3型，该机床可加工最大零件?2100mm、重量4500kg的激光核聚变用的各种金属反射镜、红外装置用零件、大型天体望远镜（包括X光天体望远镜）等。该机床的加工精度可达到形状误差为28nm（半径），圆度和平面度为12.5nm，加工表面粗糙度为Ra4.2nm。 大型超精密加工机床 DTM－3 大型超精密加工机床 激光测量：分辨率2.5nm。 驱动：刀具微位移机构。 导轨：液体和空气静压导轨。 温度：流体温度（20?0.0006℃），空气温度（ 20?0.005℃ ）。机