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微型三轴振动传感器关键技术研究 8传感器技术(Journ~ofTransducerTeclmoLoRy)2000年第19卷第2期 一 10 微型三轴振动传感器关键技术研究 侯占民,吴亚,范茂军厂P2=—————,,—————一, (信息产业部电子第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001) 摘要:提出了微型三轴搬动传感器的关键技术.为宴现微型化,在结构设计,电路设计及传感器电桥组 成形式等方面采取相应措施.电子元件选用表面安装元件,运用表面安装技术,解决了微型化技术难点; 采用调整阻尼比技术,解决了传摩器的低量程,高频响的技术难点. 关键词:枣型;盟壁垫 中围分类号:TH825;TP212文章编号:1000—9787(2000)02—00o8—03 Studyofthemaintechnologyoftheminiature triaxialvibrationtransducer HOUZhan一.tin,WUYa—lin.FANMao—jun (The49tllRIIlmtltllteoftheE.Met~nic,~nistryofInfm-mationIⅡd时,Harbin150001,China) AbsWact:Thekeytechniqueoftheminiaturetria,da[vibrationtrar~clucerwOSprocidedForachievingthe mlniaturieation.SOITI~reLevantm~lgLlrevmadoptedinthestructuredesigning.circuitdesigrfingandtheforming typeofthet阳nSdus缸dge.Byselectingtheelectricoomponentswi幽thesurfacesettingmeal~,adopting thesurfacesettingtechnique,thedifficultiesofminiaturizationwassettD单onthedampingratio adiustmg,thelowm戢衄且舯entranaudthehigh[repuencyre).nsewasre~[izad Keyords:miniature;tram~ducer;dampingra0 0前言 在航天领域的测试中,由于受实际情况的限制, 有些振动测试部位的空间很小,需要用微型的传感器 来测量,三轴振动传感器就是在这种条件下研制的. 该传感器的主要技术指标如下: 量程:向:±30g;2向:±15g 非线性度:≤O.5%FS 迟滞:≤1%FS 重复性:≤l5%FS 横向灵敏度比:≤5%FS 频率响应:10～2000Hz. 输出:0～5V;零点输出:(2.5±01)v 尺寸:mm:12X12X17 根据传感器性能指标要求,研制该传感器必须 解决小体积和低量程,高频响等关键技术. 1小体积的实现 传感器的外形尺寸为miTt:12X12X17,且包括 电路部分在内,如何研制出如此小尺寸的三轴振动 传感器,是研制过程中遇到的首要关键技术.为实 收稿日期现小型化,在设计传感器时,从整体结构和调节电路 两方面考虑. 1.1传感嚣整体结构设计 首先,对单轴弹性元件进行尺寸确定,利用有限 元方法,在满足量程要求的情况下,尽量增大刚度, 同时保证弹性元件的尺寸达到最小,通过优化设计. 单轴弹性元件尺寸为mln:4X3X8. 在传感器的壳体上合理布置三个弹性元件的空 间位置,在保证壳体刚度的条件下,占用最小的体 积,便于电路有最大空问.为了使弹性元件便于和 电路连接,在壳体上采取一些结构措旋,将传感器三 个轴的引线集中在一个方向.通过优化设计,三个 轴的弹性元件占用壳体的尺寸为rnln:12X12XII. 传感器电路所剩空问为11mmX6mm.如图1所 示. l2传感器电路的设计 传感器要求输出0～5v,零点(2.5±0.1)v, 电路必须实现交流放大和直流偏置.由于电路空间 有限,电路设计遵循的原则是:以最少的元件和最小 第2期侯占民等:微型三轴振动传感器关键技术研究9 口口 12 圉1墨体结构田 Figl~tOllBstnl~llre 的体积实现指标要求. 在全桥方式下工作的压阻式传感器,实现单轴 振动的交流放大和直流偏置的最基本的电路如图2 所示. 围2基本的全桥电路 Fig2Basic瑚lbridgecircuit 该电路元件数量多,占用的空间大.这对于制 作微型电路来说是一个致命的问题.在此基础上, 又作了进一步的改进,如图3所示 5V 图3靖藏的全桥电路 Fig3Reducedbridgecircuit 该电路比较简单,但对电桥的直流输出信号没 有完全抑制. 在上述全桥电路基础