SEM的日常测试管理方法 中山大学测试中心.docVIP

扫描电镜仪器的日常测试管理方法 1．实验室环境要求 1.1室内温度：20±5℃，相对湿度：70(以下，不得有冷凝现象。 1.2电源电压：（220±20）伏；频率：（50±0.5）赫兹。 1.3冷却水流量不低于2L/min，压力不低于5×104Pa，水温为20±5℃。 1.4实验室内杂散磁通量密度不超过5×10-7T，地基振幅不超过5μm，不得有电磁干扰，不得存放于实验室无关的易燃、易爆和强腐蚀性气体和试剂。 2、仪器的日常维护 2.1保持电镜室的洁净，室内温度要求在20±5℃，湿度在70%以下。 2.2长期保持镜筒在一定的真空状态，即使电镜不工作期间，也要做到每周开机1~2次，以防镜筒内部锈蚀。 2.3机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要更换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。 2.4如发现仪器真空度太差, 确定扩散泵抽速下降, 更换机器内扩散泵油。 2.5定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别，如光栏用真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和丙酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。 2.6定期开启电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电器元件的老化和仪器受潮。 2.7定