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國家奈米元件實驗室 化學氣相沈積系統之氣體質量流量計及陶瓷Lift Pin耗材採購 招標規範書 目錄 頁次 一、 說明 3 二、 採購標的規範及數量 3 三、 投標需知 6 四、 履約期限 6 五、 驗收標準 6 六、 保固 6 七、 規範書釋疑聯絡人 6 說明 由於國家奈米元件實驗室之化學氣相沈積系統具備各種不同特殊氣體，其所使用之氣體質量流量計如遇故障，採購新品至少需本規範適用於國家奈米元件實驗室化學氣相沈積系統之各類氣體質量流量計及，以備可即時更換氣體質量流量計及陶瓷以持續提供穩定之高品質薄膜。 採購標的規範及數量 本案採購之標的包含化學氣相沈積系統使用之各種氣體質量流量計及陶瓷Lift-Pin耗材，其相關規格及數量如下： 質量流量計 (Mass Flow Controller, MFC) 以下各類氣體之質量流量計需為新品並檢附原廠證明氣體 流量(sccm) 數量(個) SiH4 50 1 SiH4 20 1 Si2H6 50 1 Si2H6 20 1 50 1 GeH4 20 1 H2 4000 1 氣體質量流量計規格： Repeatability ±0.2% of F.S.Resolution 0.1% of F.S. Temperature Coefficients Zero 0.05% of F.S./°C Span 0.08% of Rdg