PECVD作业指导.docVIP

文件名：PECVD操作规范及注意事项 文件号： 版本号： 页数： 发布日期： 编制: 审核: 批准： Quality is the conformance to standards. 质量是完全符合相应的标准。 When our product meets the requirement of the standard set， it is of good quality and our product can be use for it’s intended function. 当我们的产品完全符合标准，也就是确保了质量得到了保证；在质量得到保证的条件下，我们就能满足产品性能和可靠性的要求。 PECVD工序操作规范及注意事项 目的： 在去PSG后的硅片上镀一层SiN减反膜，减少硅片表面的反射率。 操作规范: 操作前准备工作 正确穿戴方法及要求： 必须穿戴：工作帽、工作服、布鞋、一次性口罩、乳胶手套 操作要求及步骤 工艺流程如下： 操作步骤： 1、来料检查 （1）、戴上一次性手套。 （2）、检查流程卡上的信息，看批次、数量等是否正确。 （3）、目视检查待镀膜的硅片，将缺角片，裂纹片等不良硅片挑出。 （4）、将硅片放到洁净柜等待插片。 2、插片 用吸笔吸起硅片，贴着石墨舟的槽壁滑入槽内，由三个工艺点定位，硅片与槽 壁贴合无缝隙，注意扩散面朝外，吸笔要时刻保持干净。插满一面后，平放舟,转动舟180度倾斜舟，将另一面插满。其间手不得接触硅片。 3、放舟 将插满硅片的舟提至PECVD前，轻放到桨上，注意舟侧面有电极的一端朝向炉内放置，并注意保持电极完好，无异物。 4、运行工艺 至操作电脑上选择正确工艺号运行。 5、卸舟 镀膜完成后将舟放至洁净冷却插片台上冷却8-10分钟，然后用吸笔卸片，操作要求同插片。把卸好的硅片放在塑胶皮上进行整理，使一叠片子整齐，无突起小棱角，避免弄碎片子。 6、碎片处理 按照要求将碎片按镀膜前和镀膜后分别放置。 7、填写信息 填写流程卡、生产记录、操作记录。 镀膜不良的问题 一般镀膜不良的现象有：亮点、色斑、边面发黄、发白、发红、色差、水痕印等。 镀膜不良的硅片参照返工片处理标准操作。 操作注意事项 1、岗位涉及特气较多，需要注意特气安全。 2、注意工艺和设备卫生，要戴好口罩和一次性手套，不要赤手触摸石墨舟，石墨舟要定期检查和清洗。 3、舟和桨从炉管中出来带有高温，注意不要被烫伤。 4、未经训练合格不得操作设备。未经授权，严禁随意修改工艺参数。不要做没有把握的事，有异常联系工艺、巡检、领班。 5、舟进入炉管时注意观察避免舟或桨碰到炉管。当发生舟桨分离或桨被炉管卡住时，立刻压下紧急按钮“HANDING STOP”，同时联系工艺和设备人员。 6、工艺运行结束后应及时从桨上取下舟，预防长期放置桨弯曲变形。 7、硅片边缘很锋利，镀膜后吸出硅片时要注意避开舟工艺点，延长舟工艺点使用寿命。 遇到异常情况及时向工艺、领班、巡检汇报。 Report to your leader immediately if any abnormality is encountered! 从洁净 柜取片 卸舟 放舟 冷却卸片 工艺 插片 亮点、色斑 色斑 表面发黄、发红 色差严重 水痕印