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特种加工技术 第七章 超声加工 Ultrasonic Machining(USM)，又称超声波加工 应用： 超声加工可以加工硬质合金、淬火钢、玻璃、陶瓷、半导体等脆硬材料（电火花加工、电化学加工只能加工金属导电材料） 超声加工可以用于清洗、焊接和探伤等 第一节 超声加工的原理和特点 超声波及其特性 超声加工的基本原理 超声加工的特点 1 超声波及其特性 声波：16~16000Hz，是一种纵波 超声波：16000Hz 与声波相同，可在气体、液体和固体中纵向传播。具有反射、折射、共振及损耗等现象。 传播速度： 331m/s(空气) 1430m/s(水) 5850m/s(铁) 可以看超声波在不同材料中传播体现出不同的波长 超声波特性-1 传播能力强 超声波的作用主要是对其传播方向上的障碍物施加压力（声压），压力的大小表示波的强度，一般用能量密度衡量。 能量密度：通过垂直于创波方向的单位面积上的能量： 与介质的密度、波速、圆频率和振幅有关 超声波特性-2 当超声波经过液体介质传播时，将以极高的频率压迫液体质点振动，在液体介质中连续地形成压缩和稀疏区域。 超声波特性-3 超声波通过不同介质时，界面上发生波速突变，产生波的反射和折射。 超声波特性-4 超声波在一定条件下会产生波的干涉和共振现象。 为了使弹性杆处于最大共振状态，必须将弹性杆设计承半波长的整数倍，而且支撑点必须选择在波节处。 2 超声加工的基本原理 3 超声加工的特点 适合于各种硬脆材料的加工 机床较简单，只需要一个方向的轻压进给，工具材料相对较软。 加工是靠极小的磨粒瞬时局部的撞击作用，故宏观作用力小，切削力小，切削热也小，不会引起变形和烧伤，表面粗糙度好Ra1~0.1um，加工精度可达0.01~0.02um 第二节 超声加工的基本设备 超声发生器（超声电源） 超声振动系统 换能器、变幅杆（振幅扩大棒）、工具 机床本体 工作液及循环系统和换能器冷却系统 一 超声发生器 将工频交流电转变为有一定功率输出的超声频震荡，提供工具端面往复振动和去除被别加工材料的能量。 二 超声振动系统 把高频的电能转变为机械能，使工具端面作高频率的振动，以便进行加工。 组成 换能器 把高频的电能转变为机械能 变幅杆 将振动幅度放大 工具 带动磨料振动 1 压电效应换能器 2 磁致伸缩换能器 3 变幅杆 4 声学头的固定 三 机床本体 第三节 超声加工速度、精度、表面质量及其影响因素 超声加工速度及其影响因素 超声加工精度及其影响因素 超声加工表面质量及其影响因素 1 超声加工速度及其影响因素 工具的振幅和频率 进给压力 磨料的种类和粒度 磨料悬浮液浓度 被加工材料 2 超声加工精度及其影响因素 机床精度、夹具精度 磨料粒度 工具精度及其磨损情况 工具横向振动大小 加工深度被加工材料 3 超声加工表面质量及其影响因素 具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层 表面粗糙度可达Ra 1~0.1um 磨粒尺寸较小、工件硬度较大时，表面粗糙度更好，但效率变低。 磨料悬浮工作液对表面粗糙度有影响，但比较复杂。用煤油或润滑油代替可改善表面粗糙度。 第四节 超声加工的应用 型孔、型腔加工 切割加工 复合加工（与其他方法结合） 超声清洗 型孔、型腔加工 切割加工 复合加工（与其他方法结合） 本章小节 超声加工的基本原理 超声加工的基本设备 换能器、变幅杆（振幅扩大棒） 超声加工速度、精度、表面质量及其影响因素 超声加工的应用 结束 * *