激光冲击波驱动结构的动力学仿真与实验分析-dynamic simulation and experimental analysis of laser shock wave driven structure.docxVIP

1绪论1.1课题来源本课题来源于2009年国家自然科学基金项目“基于激光冲击波力学效应的微驱动技术与系统研究”，项目编号项目以研究微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）全新的驱动方式为目的，以激光冲击波力学效应作为驱动源，努力拓展MEMS的应用领域，从而有力地促进MEMS技术进一步发展和广泛应用。1.2选题意义随着微机电系统（MEMS）技术的不断发展与进步，MEMS逐渐在航天、航空、医学、化工、环境、国防以及一般的民用行业中扮演着越来越重要的角色，因此，对其中作为关键技术的微驱动技术的发展要求显得尤为迫切。在基于热力、形状记忆合金、压电效应、静电力等传统微驱动技术日益成熟的同时，人们正在逐步探索一些新兴的微驱动技术。其中，基于激光热学力学效应的微驱动技术由于具有体积小、能量利用率高、可实现无线供能与远程控制、不存在电磁干扰、有利于与MEMS系统集成等优势，在MEMS领域有着广阔的应用前景，因而激发了国内外众多学者的研究兴趣。例如，浙江大学章海军等利用物质的红外光热膨胀效应，采用红外激光作为驱动源[1]，提出了一种新型的非对称结构的光热驱动器，该驱动器在16mW的红外几个驱动下，即可产生2518μm的偏转量[2]。再如，自1986年Ashkin.A成功的使用单光束梯度力光阱对水溶液中的介质小球进行三位光学捕捉之后[3]，由