激光冲击波驱动结构的动力学仿真与实验分析-dynamic simulation and experimental analysis of laser shock wave driven structure.docx

1绪论1.1课题来源本课题来源于2009年国家自然科学基金项目“基于激光冲击波力学效应的微驱动技术与系统研究”，项目编号项目以研究微机电系统（MicroElectroMechanicalSystem,MEMS）全新的驱动方式为目的，以激光冲击波力学效应作为驱动源，努力拓展MEMS的应用领域，从而有力地促进MEMS技术进一步发展和广泛应用。1.2选题意义随着微机电系统（MEMS）技术的不断发展与进步，MEMS逐渐在航天、航空、医学、化工、环境、国防以及一般的民用行业中扮演着越来越重要的角色，因此，对其中作为关键技术的微驱动技术的发展要求显得尤为迫切。在基于热力、形状记忆合金、压电效应、静电力等传统微驱动技术日益成熟的同时，人们正在逐步探索一些新兴的微驱动技术。其中，基于激光热学力学效应的微驱动技术由于具有体积小、能量利用率高、可实现无线供能与远程控制、不存在电磁干扰、有利于与MEMS系统集成等优势，在MEMS领域有着广阔的应用前景，因而激发了国内外众多学者的研究兴趣。例如，浙江大学章海军等利用物质的红外光热膨胀效应，采用红外激光作为驱动源[1]，提出了一种新型的非对称结构的光热驱动器，该驱动器在16mW的红外几个驱动下，即可产生2518μm的偏转量[2]。再如，自1986年Ashkin.A成功的使用单光束梯度力光阱对水溶液中的介质小球进行三位光学捕捉之后[3]，由于具有非接触，无损伤的微纳粒子操作特性，光镊技术在生物、医学、物理学、化学、微细加工等领域得到了广泛的研究[4][5]。中国科技大学黄文浩研究小组利用光镊实现了直径为6μm的万字型微转子的转动，当激光功率为50mW时，转子的转速达到200rpm[6]。尽管这些研究都能实现激光驱动微结构，然而，由于光镊捕获粒子的梯度力极其微弱（一般为pN量级），红外激光光热微驱动器响应速度慢，因此，这些激光微驱动技术不能够满足要求输出功率大、负载能力强、响应速度快的微型马达、微型射流注射系统、微型脉冲泵等微机电系统驱动的需要。为此，本项目瞄准实现输出功率大，负载能力强、响应速度快的MEMS微驱动的迫切需要，充分发挥激光微驱动体积小、结构简单、无电磁干扰、无接触可远程控制的独特优势，提出基于激光冲击波(LaserShockWave)的力学效应，研究一种新型激光微驱动技术与系统。激光冲击波是在一定条件下，激光与物质相互作用产生高温高压等离子体，激光等离子体吸收激光能量，而产生的逆激光束方向传播的燃烧波（LSCW）或爆轰波（LSDW）。根据激光形式不同和激光功率密度的不同，激光冲击波的压力峰值范围从Pa到TPa，折算到每平方微米范围内冲击力范围可从pN到N，冲击波作用时间可以从fs到ms量级，正是由于激光冲击波峰值范围广，作用时间范围大，因此，激光冲击波的力学效应自被发现以来，已经用于材料的激光冲击处理[7][8]、激光冲击成形[9][10]、激光诱导核聚变[11]和激光推进等领域的理论研究与工程运用之中。国内外对激光冲击波的研究尽管已经很多，但是几乎所有的研究都集中于冲击波的时空特性及其靶冲量上，对结构的动态响应分析少之又少；而且即使有有关激光用于驱动微结构的研究，也只是根据实验获得数据以证明激光用于微驱动的可行性，没有对结构进行分析。而结构在冲击波力学作用下的动态响应对于激光用于微驱动技术的成熟起着至关重要的作用，所以本课题的研究还是很有价值的。1.3激光冲击波驱动研究的国内外发展状况1972年，美国的ArthurKantrowitz最先提出激光推进的基本概念[12]，并设想用平均功率为350MW的脉冲激光器将1000Kg的有效载荷发射至近地轨道。尽管这个大胆的设想在当时的技术条件下根本是无法实现的，但却从此揭开了激光冲击波在激光推进领域研究的序幕。1.3.1国外发展概况上世纪80年代末，由于微小卫星技术与激光技术的高速发展，激光推进技术逐步引起重视。自1996年，Myrabo提出并发展了光船的概念，与美国航天局（NASA）、美国空军研究实验室等单位合作，于1997年首次成功实验了穿线式激光推进实验，采用10KW、脉宽18ms的CO2激光器使碟盘飞行器上升了0.3m，1999年又使直径为11cm的光船垂直上升了39m，2000年将直径12.2cm、重50g的光船发射到71m的高空，光船飞行了11s[13][14]。2002年，Phipps等人提出采用冲量为10-6Ns的激光推进器进行空间微小卫星的精确姿态调整[15]。将激光烧蚀产生的力学效应用于微尺度的推进于2002由T.Yabe等学者提出，还提出了“标准靶”和“奇异靶”两个概念，并成功地用590mJ/5ns的YAG激光器分别驱动了38mm×30mm×5mm，重0.1g和39mm×56mm×15mm，重0.2g的纸飞机