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激光位移传感器论文.doc

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    目录 第１章 引 言 1 １.１　课题背景 1 １.２　理论依据 3 １.３　发展趋势及本课题所具有的理论意义和价值 3 １.４　国内外的研究现状 5 第２章　　位移传感器的横向比较 6 ２.１　电感式位移传感器 6 ２.２　电容式位移传感器 8 ２.３　电阻式位移传感器 10 ２.３.１　电阻应变式位移传感器 10 ２.３.２　电位器式位移传感器 11 ２．４　光电(CCD)位移传感器 12 ２.４.１ CCD结构及工作原理 12 ２.４.２　光电位移传感器原理 14 第３章　　激光位移传感器原理 16 ３.１ 光学测量方法简介 16 ３.２　ＰＳＤ工作特性分析 17 ３.３

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