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压电式传感器培训讲义

高分子压电薄膜制作的压电喇叭 (逆压电效应) P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 一、等效电路 + + + + + + + + + + + + - - - - F P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 一、等效电路 + + + + + + + + + + + + - - - - + - + - Q P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 一、等效电路 + - + - Ca P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 一、等效电路 + - + - Ra ea:开路电压; q:压电晶片表面上的电荷; Ca 为压电晶片的电容。 2. 测量电路 等效电荷源 Cc:分布电容; Ri:输入电阻; Ra:漏电阻; Ci:输入电容 P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 一、等效电路 Ra Ca Q P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 二、灵敏度 F Q U P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 二、灵敏度 电荷灵敏度 kq 电压灵敏度ku kq =Q / F (1) ku =U / F (2) 两者关系: kq = ku Ca (3) P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 二、灵敏度 灵敏度: kq =Q / F ku =U / F 问:如何提高灵敏度? 提高输出电荷Q 提高输出电压U P IEZO Sensor 压电式传感器 - + + + + + + + + + + - - - - - ( a ) ( b ) + + + + P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 二、灵敏度 问:如何提高灵敏度? 多个压电晶体并联 + + + - - - + + + - - - QΣ=n Q UΣ=U CΣ=n C P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 二、灵敏度 问:如何提高灵敏度? 多个压电晶体串联 + + + - - - + + + - - - QΣ= Q UΣ=n U CΣ= C /n 放大器电路的作用: 信号放大 放大传感器微弱的输出信号。 阻抗转换 把高阻抗输入转换成低阻抗输出。 P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 两种放大电路: 电压放大器 输出电压与输入电压成正比。 电荷放大器 输出电压与输入电荷成正比。 P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 压电式传感器输出电荷q很少,内阻Ra很大,输出信号很弱小,因此要进行处理: (1) 放大微弱的压电信号 (2) 进行阻抗匹配 电压放大器 电荷放大器 (1).主要作用 电压放大器 ~ -A U Ui U。 P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 电荷放大器 -A Q Ui U。 Ca CF P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 q≈qt+qf= ui(Ca+Cc+Ci)+(ui-uy)Cf= uiC+ (ui-uy)Cf ui=(q+uyCf)/(C+Cf) 推导 (3).电荷放大器 电荷放大器的突出特点:电缆长度及其 分布不影响传感器正常工作。 电荷放大器的截止频率低、是电压放大器截止频率的1/A. P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 性能比较 特性 电荷 电压 高频特性 好 好 截止频率 电压放大器的1/A 较高 复杂程度 电路复杂、昂贵 简单、成本低 电缆电容 影响小 影响大 P IEZO Sensor §4 等效电路与测量电路 三、放大电路 无静态输出; 输出阻抗高; 体积小,结构简单,工作可靠; 固有频率高,动态响应好,灵敏度高; 压电式传感器是发电式、双向传感器。 一、应用特点 P IEZO Sensor §5 应用 传感器:主要用于测力、振动、加速度 压电元件: 自动点火,如打火机;

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