镀膜线换靶保养培训.pptVIP

镀膜线换靶保养 一.空室回气 二.靶材和盖板的起吊 三.靶材的更换与保养 1平面靶更换与保养 2旋转靶更换与保养 四.真空室 1真空室的清洁 2活动挡板 3传动 4密封 五.吊装 六.检查 七.抽气 八.氦检、气检、水检 一、空室回气 真空室回气操作:关闭前后锁室大罗茨泵，关闭前后锁室机械泵；关闭扩散泵提升阀，关闭前极小罗茨泵，关闭前极机械泵；关闭机械泵内外循环水。关闭电源，拆阴极电源线；待所有阴极冷却至常温时，关闭阴极内外循环水，关闭活塞冷冻机内外循环水，方可进行阴极、铜底罩、AC电源“吹水”操作，吹水时应缓慢开启压缩空气开关（旋转靶吹3~5分钟，平面靶吹2~3分钟），待水吹干后，关闭吹水压缩空气截至阀，后将压缩空气快速接头卸下，其顺序不能颠倒，然后卸掉水管快速接头，并用胶袋将阴极出水口扎好。待确认放气完毕后拆卸工艺气管接头，确认以上工作完毕后，安排吊装人员起吊阴极及盖板。 注意：关阀先关进水阀，再关回水阀。 在加热盘停用1小时后关闭扩散泵冷却水， 二、靶材和盖板的起吊 1、起吊前准备：起吊前应检查吊机是否正常，吊具有无破损，在吊运过程中应严格遵守《行车安全操作规程》。 2、 当换靶负责人确认回气完毕，电源线、工艺气管等均已拆卸、阴极、电源、铜底罩吹水完毕后，向生产部吊装工发出起吊指令，吊装工在起吊前应再次确认阴极水管电源线，工艺气管已拆除，起吊顺序为先阴极后盖板，再铜底罩（起吊铜底罩前应确认已吹水并拆卸螺栓水管），并按现场负责人指定地点放置。在吊装过程中应轻起、轻放，在起吊阴极或盖板时，应尽量保持与吊钩垂直，若起吊后发现所吊物与吊钩不垂直，应在离密封面相对位置大于50mm时方可校正，以免损坏密封面。 三.靶材的更换与保养 1、平面靶 （1） 先将阴极吊到阴极小车放稳，并将压紧螺栓紧固后缓慢翻转。根据《换靶任务书》预先准备好所有更换的靶材。 （2） 换靶时，用1#干磨砂布或打磨机将阴极体上所有膜层打磨干净，密封面用尼龙纱布，用吸尘器先吸尘，再用压缩空气吹净。 注意：a.阴极面决不允许打磨。 b.严禁将工器具放置在阴极密封面上，以免将密封平面碰伤。 c.注意避免手汗留在阴极上形成印痕。 d.真空室内工作必须穿鞋套。 (3)安装新靶前，换靶人员需戴手套并用酒精将靶材清洁干净，靶材放置应均匀，相邻靶材之间的间隙以0.8mm左右。 (4)靶材压条及压条螺栓每次换靶时均应做喷砂处理。检查有螺栓损坏时应及时更换。 注意：a.靶材需要严格按照顺序摆放。 b.靶材螺丝必须要喷涂二硫化钼，以防高温烧结。 (5)靶材中间压条周边压条螺栓紧固扭力矩均为23N.M。 注意：a.注意枪的扭力校正。 b.注意使用规定的压缩空气口。 (6)当靶材安装完毕后，用酒精仔细清洁靶材表面。用兆欧表检查阴极本体、阳极、靶材、接线端与端盖之间绝缘情况，绝缘值应大于500兆欧。 注意：a.注意阳极瓷柱是否短路。 b.注意阳极下方是否有积渣。 c.注意阳极接头固定销是否在正常位置。 2、旋转靶 （1）先将阴极吊到阴极小车上放稳并用压紧螺栓紧固后缓慢翻转，根据《换靶任务书》预先准备好需更换的靶材。 （2）换靶过程中，用1#干磨砂布将工艺气管上的膜层打磨干净，密封面用尼龙砂布打磨干净，并将ENDBLOCK护罩，顶面网板拆下喷砂处理，用吸尘器先吸尘，再用压缩气管吹净。 （3）更换靶材时，必须用特制软宽带来吊装靶筒。两根吊带套在靶上时，吊带间隔应在1.5米以上，以防靶筒倾斜或滑离吊带。在安装拆卸靶筒瞬间，吊带不能太紧或太松。并注意，保护靶筒两端密封面不受损伤。每次换装靶筒时，靶筒两端φ120* 4的“O”形圈必须更换。 注意： a. 靶材吊带防止沾油，专用吊带不允许他用。 b.紧定螺钉与螺母。 c.先拆水电端，再拆驱动端。 d.锡靶需补焊。 无论平面靶与旋转靶。换靶完毕后均需作气体保压试验。具体方法为：在阴极冷却水进出口端，接一带阀快速接头，出口端接一带压力表快速接头，向阴极冷却水道内通入压缩空气，待压力升至105~110psi时关闭阀门。使之形成一单独闭合空间并保压10分钟，对于旋转靶，应旋转靶筒10圈以上，观测压力表刻度无变化为合格，否则，查漏点，查至合格为止。 注意：a.清洁。 b.靶材更换。 c.保压实验。 d.靶材更换后，注意标牌的更换。 四.真空室 1、真空室清洁： （1） 溅射室： 用1#砂布或打磨机对腔壁四周，活动挡板驱头及连接部件打磨到光亮，并对滚道“O”形圈表面打磨干净后，用吸尘器吸干净，重点为玻璃通过区间。检查各观察窗视镜，若有膜层，则打磨或更换。 （2）隔离室： 将隔离室菱形罩拆下至地面。用1#砂布或打磨机将吸附膜层打磨至光亮。用干布（不起毛）擦干净，将隔离室灰尘用吸尘器吸净后将菱形罩原样装回