洁净区环境检测规程.docVIP

洁净区环境检测规程 1 目的 规定洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度，满足生产和检测环境的要求。 2 范围 本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。 3 职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。 定义 无 5.程序 5.1检验项目 温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数。 5.2温度、湿度 5.2.1要求 洁净区温度（18-28）℃，相对湿度（45-65）% 5.2.2仪器与设备 温度计 湿度计 5.2.3操作方法 目测温度计和湿度计 5.2.4测定频次 1次/班 5.3压差 5.3.1要求 洁净室与室外压差≥10Pa，洁净室与非洁净室≥5Pa不同级别洁净室之间≥5Pa 5.3.2仪器与设备 微压计 5.3.3操作方法 用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。 5.3.4测定频次 1次/月 5.4换气次数 5.4.1要求如表1所示： 表1 各级别洁净区风速的技术指标 级别 100级 10 000级 100 000级 300 000级 风速 m/s 水平层流 ≥0.4 — — — 垂直层流 ≥0.3 换气次数 次/h — ≥20 ≥15 ≥12 5.4.2仪器与设备 风速计 5.4.3操作方法 5.4.3.1用风速计距风口下25cm处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少于5点）。计算5个点风速平均值，为一个风口的风速。 5.4.3.2换算公式： 5.4.4测定频次： 1次/月 5.5尘埃粒子数 5.5.1要求如表2所示： 表2 各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标 级别 100级 10 000级 100 000级 300 000级 尘埃数 粒/m3 ≥0.5μm ≤3 500 ≤350 000 ≤3 500 000 ≤10 500 000 ≥5.0μm 0 ≤2 000 ≤20 000 ≤60 000 5.5.2仪器与设备 尘埃粒子计数仪 5.5.3内容 用尘埃粒子计数仪在高度0.8米水平面上的位置采样，总采样次数不少于5次。 最少采样点数目的确定如3表所示： 表3：最少采样点数目 面积 ㎡ 洁净度级别 100级 10 000级 100 000级 300 000级 ＜10 2～3 2 2 2 ≥10～＜20 4 2 2 2 ≥20～＜40 8 2 2 2 ≥40～＜100 16 4 2 2 ≥100～＜200 40 10 3 3 ≥200～＜400 80 20 6 6 ≥400～＜1000 160 40 13 13 ≥1000～＜2000 400 100 32 32 ≥2000 800 200 63 63 注：对于100级的单向流洁净室（区）包括100级洁净工作台（bench），面积是指送风口面积；对于10 000级以上的非单向流洁净室（区），面积是指 房间面积。 采样次数的限定 对任何小洁净室（区）或局部空气净化区域，采样点的数目不得小于2个，总采样次数不得小于5次。每个采样点的采样数目可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同。 采样量：不同洁净度级别每次最小的采样量见表4。 表4：最小采样量 最少采样量 L/次 洁净度级别 100级 10 000级 100 000级 300 000级 ≥0.5μm 5.66 2.83 2.83 2.83 ≥5μm 8.5 8.5 8.5 8.5 结果计算 A）采样点的平均悬浮粒子浓度A按右式计算： 式中：A —某一采样点的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m3）； Ci —某一采样点的粒子浓度（i=1,2，…，n），粒每立方米（粒/m3）； N —某一采样点的采样次数，次。 b）平均值的均值M按下式计算： 式中：M —平均值的均值，即洁净室（区）的平均粒子浓度，粒每立方米（粒/m3）； —某一采样点的平均粒子浓度（i=1,2，…，L），粒每立方米（粒/m3）； N —某一洁净室（区）内的采样点数，个。 c）标准差SE按按下式计算： 式中：SE —平均值均值的标准误差，粒每立方米（粒/m3）。 d）95%置信上限（UCL）按下式计算： UCL=M+SE×t 式中：UCL —平均值均值的95%置信上限，粒每立方米（粒/m3）； t —95%置信上限的t分布系数，见表5。 表5：95%置信上限的t分布系数 采样点数L 2 3 4 5 6 7