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- 2018-05-30 发布于重庆
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洁净区环境检测规程
洁净区环境检测规程
1 目的
规定洁净区的控制指标和检测方法,有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度,满足生产和检测环境的要求。
2 范围
本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。
3 职责
化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。
定义
无
5.程序
5.1检验项目
温度、湿度、压差、风速(换气次数)、尘埃粒子数、菌落数。
5.2温度、湿度
5.2.1要求
洁净区温度(18-28)℃,相对湿度(45-65)%
5.2.2仪器与设备
温度计 湿度计
5.2.3操作方法
目测温度计和湿度计
5.2.4测定频次
1次/班
5.3压差
5.3.1要求
洁净室与室外压差≥10Pa,洁净室与非洁净室≥5Pa不同级别洁净室之间≥5Pa
5.3.2仪器与设备
微压计
5.3.3操作方法
用微压计或数显压差计测试各室的静压力,由两室静压力之差,为静压差。
5.3.4测定频次
1次/月
5.4换气次数
5.4.1要求如表1所示:
表1 各级别洁净区风速的技术指标
级别 100级 10 000级 100 000级 300 000级 风速
m/s 水平层流 ≥0.4 — — — 垂直层流 ≥0.3 换气次数
次/h — ≥20 ≥15 ≥12 5.4.2仪器与设备
风速计
5.4.3操作方法
5.4.3.1用风速计距风口下25
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