用投影全息干涉条纹测量物体三维面形.pdfVIP

《激光杂志》 年第 卷第 期 （ ， ） 2000 21 1 LASERJ0URNAL Vol.21 No.1.2000 37 用投影全息干涉条纹测量物体三维面形 钟丽云 张文碧 杨齐民 吕晓旭 佘灿麟 （云南工业大学激光研究所，昆明 650051） 提要：在以往投影法测量三维面形的装置中，其产生激光干涉投影条纹的装置较大，且干涉条纹较容易受外界的影响而漂移 和抖动，影响测量结果精度的提高，本文提出用离轴全息干涉条纹替代投影法的激光干涉仪投影条纹，并将其用于实际测量中，实 验结果表明：该方法产生干涉条纹的装置简单，且不受外界振动的影响，光能利用率高，易于移相和解调，这使得三维形貌检测精 度高、速度快，实用性更强。 关键词：离轴全息，全息干涉条纹，三维面形测量，投影条纹测量 3D sha e measurement usin off-axis holo ra h p g g p y Zhon Li un Zhan Wenbi Yan Gimin Lu xiaoxu She canlin g y g g g （ ， ， ） Laser institute Yunnan Pol technicUniversit Kunmin 650051 y y g ： ， Abstract in this a ertheoff-axisholo ra h isusedinthmeasurementof 3D-sha e.the rinci le measurin deviceare resented. p p g p y p p p g p theresultsof themex eriment indicated that theeasurement methodands stem are ractical.p y p ： ， ， ， Ke words off-axisholo ram holo ra hicinterferencefrin e 3Dsha emeasurement roectin frin emeasurement y g g p g p p j g g 1 引言 且它们总是相干，并形成平行干涉条纹，由此可见，要 物体的三维面形（物体外形轮廓）测量具有十分重 制作用于做投影条纹使用、而且大面积和信号强的平 要的价值，在计算机辅助设计、数控加工技术、产品质 行干涉条纹，用全息方法可能是最方便而且又简单。 量检测、甚至医学和艺术等领域都有十分广泛的应 3 用全息投影干涉条纹作物体三维面形测量 〔 〕 用 1~2 。目前有很多的光学非接触测量方法，如逐点 测量的实验装置如图 所示，让被测物体放在一 2 〔〕 光学三角测量法3 ，但测量速度太慢，若减少测量点， 参考平面 上，用参考光 再现全息图，所产生的平行