电子光学成像 光电成像课件讲解材料.pptVIP

1 ——基于电子在电磁场中的运动规律，电子光学系统实现 电子光学是研究电子在电场和磁场中运动的学科，主要研究电子束聚焦、成像和偏转的规律，其理论基础是经典力学、电动力学和光学。 电子光学成像 电子运动和光学联系的理论依据：电子波动性与光波相似；电子在电磁场中运动规律与光线在变折射率介质中传播规律相似。 介绍：电子光学中的场的表达、电子在场中的运动形式、电子光学成像规律、典型电子光学系统。 2 电子光学中的场 几点假定 场分布与时间无关，只是空间函数，即静场 场在真空中 不考虑电子束本身的空间电荷(或电流)分布对场的影响 场的结构以旋转对称形式为主 Maxwell 矢量方程组 无旋场 无源场 3 ——引入标量电位和矢量磁位 拉普拉斯方程 标量电位函数 ——Maxwell 方程简化为 矢量磁位函数 (1) 旋转对称静电场方程 轴上电位分布 4 (2) 旋转对称静磁场方程 轴上磁场分布 电子在场中的运动规律 运动速度为v的电子在电磁场中所受的作用力 (1) 电子在电磁场中的运动方程 5 能量守恒定律 磁场只能改变电子运动方向，不能改变电子运动能量。 电场可以改变电子运动的能量。 电子在静电场和静磁场中运动时，动能和位能之和不变。 电子在电位V处的速度 直角坐标系下，电子运动微分方程 8 A、对于轴上物点，r(z0)=0 会聚电场，特解r2(z)会在某点z=zi处与轴相交； 物面轴上点发出的所有电子最终会聚到z=zi处。 B、对于轴外点，r(z0)0 (1) 理想成像条件之一 物平面轴外一点发出的所有电子，将会聚于像平面同一点； 会聚点位置与物点位置和特解r1(z) 像面位置成比例。 9 任意位置的物点的横向放大率保持不变，即物和像几何形状相似。 (2) 理想成像条件之二 10 电子光学系统的折射率 ——电子光学系统对带电粒子聚焦成像与光学介质对光线作用相似，在电子光学中有类似折射率的概念。 电子光学折射率空间分布由场决定； 折射率可以连续改变，变化范围大； 存在磁场时，折射率与电子运动方向有关，电子运动不可逆； 折射率取决于空间连续的电子运动轨迹的变化，不会有突然的折射。 11 (1) 双平面近贴系统 电子运动轨迹与电子在物平面的出射位置无关。 物面一点发出的电子在像面上不会聚于一点。 典型电子光学系统 运动方程 轨迹方程 12 (2) 电磁复合聚焦系统 电子运动周期 轴向进动距离 动力学方程 轨迹方程 13 光阴极上一点发出的电子，不论其初速度和出射角如何，只要轴向初速度相同，经过时间T都会汇聚到一点，汇聚点距离光阴极为d——轴向均匀电磁场具有聚焦特性。 电子光学系统有聚焦像差，定义为：物面上以一定速度从特定方向和特定离轴距离处发出的电子，与高斯像平面的交点相对于高斯像点的偏离量。 初动能相同、不同出射角的电子形成的像差——孔径角不同引起：球差、慧差…… 出射角相同、初动能不同的电子形成的像差——波长不同：色差