封离型CO2激光器的技术和应用.docVIP

封离型CO2激光器的技术和应用 塑堂塑塑—— 2孙建军,路而缸.音响视昕手册 出艋杜,10q6,52～57 光电子技术与信息1997年4月 北京:电子工业3付麒一微型计算机接口与通信-北京:电子工业 出版杜,199160~63 ANovelandPracticalOpticalFiberLinkSystem DengJingZhangDnWuZMfie fNanjingUnive~iLyofAemnauLiesandAstronauticsNaing210016) Abstract Thlspaperpresentsanovelandpracticalopticalfiberllnksystemtolinkmusic instrumentdlgitalinterface(MIDI)inplaceofnormalcables.Thisllnksystemhasdimlnlshed theinterferencethatMIDIdigitalsignalcanimposeOHaudiosignal,andincreasedthetransfer dlstancebetweenmusicinstruments.TheseaAvant2~esshowthatopticalfiberhasbright futureofdigitalmuslcinstrum~nt’Sllnk. 和耐用性的提高,使封离型CO2激光器对于 工业应用极具吸引力. 在过去的十年I可,就激光器的销售情况 和应用种类来看,封离型CO2激光器市场 有了显着的增长.初期,激光输出功率在l0 W和25W,这期间的市场增长是由于激光 器价格的低廉.因广泛地适用于非金属材料 的切割和雕刻,这种低功率激光器已经在许 多台式激光制造系统里找到了用武之地,例 如美国Universal激光系统和Epilog激光系 统.当输出功率提高以后,这种激光可用来 切割金属,陶瓷,厚的聚丙烯塑料和本料, 切割速度可达每分钟几百英尺.如今,封离 式C02激光器以其优异的性能使激光加工 技术成为可能,并且价格低廉可以大批供应 14 蜷, 封高恐 对于工业上的应用来说,设备的可靠性 往往比投资的花费更为重要.一家造纸厂或 一 家汽车制造厂因故停产一小时所造成的 损失实际上比激光器本身的初期投资要高得 多.封离型CO2激光器要成为一种工业加工 工具被人们接受,就必须具备优良的工作性 能和在恶劣的生产环境下工作的可靠性. 为弄明白为什么封离型CO2激光器能 够在工业市场上占有一席之地,我们有必要 了解一下这种激光器的设计和构造. 所谓封离型CO2激光器,是指激光器的 通光孔(即形成等离子体并产生激光的地方) 和工作气体救密封在同一根管子里,它有别 于输出功率较高的流动气体激光器系统,后 者需要外加气罐,气泵和过滤器. 用旦触L;栩每笨一孑～麓¨,●,广,生SL’Zjtn勃.,}一酬呲舵目耍.,～耙0e删Ⅲ一一/. 第L0卷第2期光电子技术与信息1997年4月 最早的封离型CO2激光器基于直流激 励的管式结构1978年,Laakmann光电 子公司首创了射频激励的COz激光器.用射 频能量激发气体并采用波导结构将光能量限 制在一个横截面很小的区域内,于是一种产 生CO2激光输出的更有救的方案诞生了, 它同时也使激光器的工作寿命大大延长. 在过去的十年间,许多家公司研制了输 出功率为10~240W的封离式CO2激光器. 当初的波导结构如今仍被沿用.虽然对于大 多数的工业应用来说它已经搜”自由空间 结构”或者”复合腔结构”所替代.这些新的 进展着眼于改进工作性能,延长工作气体寿 命,提高工作的可靠性,以及降低成本. Synrad公司采用了一种”复合波导/自 由空问”结构.这种结构通光孔比真正的波 导大,起到空间滤波器的作用,产生了纯净 的高质量激光束,具有衍射极限的特性f这 点对于切割和钻孔是非常重要的).由于采 用的通光孔大,激光等离子体与孔壁的作用 可以忽略,这就放松了对通光孔所甩零部件 的机械公差的要求,因而使激光器的成本下 降,且容易制作 Synrad公司的激光器首次采用了全金 属结构.其激光管和电极都是用铝压制成形 然后焊接而成的,这种结构设计具有制造成 本低,长期稳定可靠的突出优点. 另一种结构是所谓板条式COz激光 器”,相干公司将它用于其Diamond(钻石)系 列激光器中.它是在一个方向上采用非稳腔, 而在另一个方向上采用波导激光器结构.其 主要优点是单位放电长度产生的激光功率比 其它结构高.然而它的光束质量有所下降, 而且需要另外的光学系统来产生圆形光束. Synrad公司的激光器一般充以He, N2,CO2和Xe的混和气体.工作时会产 生03f臭氧)和Of氧原子)等离子体猝灭后 O将转变为