镀金 刚石线锯超声波切割实验装置研制和加机研究.pdf

摘要 随着科研和工业技术的迅速发展，硬脆材料在各个领域的应用已经日益普 遍。这些硬脆材料，如硅单晶、石英晶体、陶瓷、宝石、玻璃、稀土磁性材料、 半导体材料、硬质合金等。金刚石线锯在硬脆材料的加工方面逐渐显现出一系 列无可比拟的优点：加工表面损伤小、挠曲变形小、切片薄、片厚一致性好、能 切割大尺寸硅锭、省材料、效益好、产量大、效率高等，是一种相对较新的技 术，在近十几年来得到了快速发展。 本文提出了电镀金刚石线锯超声波切割技术完全具有自主知识产权的切割 方法。该研究课题具有较大的研究价值和实际应用意义。研究内容包括： ①研制一台电镀金刚石线锯超声波切割实验装置； ②研制适合超声振动条件下的电镀金刚石线锯： ③对电镀金刚石线锯和磨粒进行运动和动力学分析，研究电镀金刚石线锯 的加工轨迹： ④对电镀金刚石线锯超声振动锯切有关的工艺参数与材料去除率、锯切 力、表面质量等方面进行系统的实验研究； ⑤对电镀金刚石线锯的超声锯切时线锯的失效形式及机理进行了实验研 究与分析； ． ⑥最后通过研究电镀金刚石线锯超声锯切过程的分析，从断裂力学和锯切 力的角度分析研究材料去除机理。 该项技术与传统的硬脆材料切割方法不同，通过研制电镀金刚石线锯超声 波切割实验装置验证了该项技术的原理是可行的。与有关单位合作，采用自制 的电镀设备及工装进行了线锯的电镀工艺研究，并制造出了质量稳定的电镀金 剐石线锯，镀层和基体结合牢固，镀层对金刚石颗粒的把持良好，金刚石颗粒 分布均匀，达到该项技术条件的使用要求。通过对该实验装置中的关键技术研 究，设计制造了超声电源、换能器、变幅杆等。该实验装置的主要技术参数是： 超声发生器的功率为250W(可调)，频率为20^z应，工具的最大振幅为20Fmo 对电镀金刚石线锯超声振动锯切工艺进行了深入研究，实验结果表明该方 法的材料去除率可达25m／min以上，大大高于相同条件的往复式线锯，是其材 料去除率2．5～3倍，能充分发挥金刚石的卓越性能。在此基础上迸一步研究了 金刚石粒度、侧向压力、线锯速度以及工件材料性质对锯切过程的影响。通过 正交试验对锯切工艺参数进行了优化。优化实验表明：要获得较高的锯切效率， 较好的质量和最优的经济性，其最佳的工艺参数为：金刚石粒度为18矿，侧向压 力为12^‘线锯往复速度为300rpm,锯切效率最高。其2nT零件的表面粗糙度 经过对电镀金刚石线锯和磨粒进行了运动和动力学分析，作者认为在锯切 过程中磨粒在去除过程中与工件的接触是非连续状态的，其实际接触时间只占 整个工作周期的l／3～i／5，试验结果和理论分析都证明其总的平均锯切力小、 锯切温度要降低，而且局部产生的应力也有充足的释放时间和条件。 通过对电镀金冈H石线锯实验和分析，作者认为金刚石线锯的失效形式主要 有：金刚石颗粒的磨损、破碎和脱落等。在超声振动切割时，金刚石颗粒受到 的冲击作用，由线锯的柔性而得到一定程度缓解，一股不会因机械冲击而产生 破碎或脱落，主要表现为抛光磨平。在较低锯切速度下，由于锯切力较大，金 刚石颗粒将产生破碎和脱落。金刚石颗粒首先在较小的应力和锯切热的作用下。 在尖角和棱边处产生抛光磨平或轻微的局部破碎，随着磨平和局部破碎的不断 增加，金刚石承载能力下降，部分金刚石颗粒将产生整体破碎。摩擦产生大量 的锯切热，使镀层软化，降低镍镀层对金剐石颗粒的把持力，在机械冲击的作 用下，金刚石颗粒会产生整体脱落现象。当参数选择不当，线锯的寿命会大大 降低甚至会发生断裂。 通过对金刚石线锯锯切力的理论研究，建立了线锯切割时锯切力的理论模 型。该模型在分析单颗粒金刚石的锯切力的基础上，综合考虑了线锯速度、工 件迸给速度、线锯参数和工件性质对锯切力的影响。研究结果表明：金刚石线 锯的锯切力与工件材料的厚度和工件进给速度成正比和线锯速度成反比，并且 和材料性质有关。在研究分析已有的硬脆材料去除机理的基础上，提出了电镀 金刚石线锯超声锯切机理的模型，根据压痕模型，认为电镀金刚石线锯超声锯 切过程中的材料去除的主要原因是由赫兹碎裂(HertzianFracture)引起的。假 如工件材料的表面被一个滑动的压头弹性地压下，则在压头滑移轨迹后面的材 料中产生张应力场，当其值超过临界的正常负荷时，就会产生局部圆锥形裂纹， 这个负荷比使材料表面形成永久刻痕所必需的力要小得多，这说明在较低的压 力下硬脆材料仍可被破碎。在此基础上分析了电镀金刚石线锯超声锯切去除材 料中，除常规的锯切过程外还包括压缩