美国BTS 半导体设备股份公司简介Broad Tech System, Inc. 美国BTS ....pdfVIP

美国BTS 半导体设备股份公司简介 Broad Tech System, Inc. 美国BTS 半导体设备股份公司的Semiconductor Group 创立于美国高新技术产业区加洲硅谷, 专业经营全新和翻新的半导体前道FAB 的生产工艺设备和后道的ATE 测试设备, 包括光刻系 统,刻蚀系统,匀胶系统,离子注入系统,溅射系统,扩散系统,清洗腐蚀系统, 以及测试系统等, 我们 还提供各类真空配件及相关的阀门等.本公司优势在于其为客户提供高质量的翻新设备,有竞争 力的价格及快捷准时的交货时间,使得BTS 成为具有良好信誉的半导体设备及配件的供应商,我 们的业务遍及美国,中国,欧洲和日本. BTS 于2007 年又拓展了半导体硅材料的供应业务,我们的Silicon Materials Group 通过其在全 球的采购渠道与各大硅材料生产厂建立了良好的合作关系,我们通过直接从生产厂采购的方式 最大程度降低了客户的采购成本并提高了质量监控,全方位的满足客户的需求,我们提供的硅材 料包括: Polysilicon Chunks, Polysilicon Ingot, Poly Rods, Polysilicon Chips, Semiconductor ingot, Broken Wafers, Broken Disks, Pot scrap, Top and Tail, Cells 等. BTS 主要提供的全新和翻新设备如下主要提供的全新和翻新设备如下: 主要提供的全新和翻新设备如下主要提供的全新和翻新设备如下 • Ultratech Stepper #1000, #1100 ,#1500 • Canon Mask Aligners: MPA500, PLA501F/FA, PLA600F • AMAT 8330, P5000 • SVG 86 88 Series System • Veeco • Matrix105/205/303/403 • Eaton and Varian Ion Implanter: Varian 350D,CF3000, 300XPEaton NV10-160, NV1-80, NV6200A/AV. Varian E1000, E500AMAT9200, 9500, Axcelis GSDs, 8250 • Thermco, Fusion150 • Semitool 4” 240/440/840, 5” 260/460/860, 6” 270/470/870, 8” 280/480/880, 12” 2300/4300/8300 • Verteg1600, 1800 • FSI • Varian 3180, 3190, 3280 1 BTS 主要的提供的半导体配件主要的提供的半导体配件: 主要的提供的半导体配件主要的提供的半导体配件 • AMAT 8110, 8330, P5000 • ASM Epsilon • ASML • Canon Mask Aligners : Canon PLA-501F,PLA-501FA, PLA-600F,MPA-500 • Canon Stepper: FPA-3000i4/i5/iW, FPA-2500i3, FPA-2500i2,FPA-2000i1,FPA-1550Mk4W • CHA Mark50,SE1000 • Eaton and Varian Ion Implanter: Varian 350D,CF3000, 300XPEaton NV10-160, NV1-80, NV6200A/AV. Varian E1000, E500AMAT9200, 9500, Axcelis GSDs, 8250 • FSI Mercury MP amp; Mercury OC • Gasonic Aura 1000, 3010 • KLA-Tencor SFS-4500/5500, SFS-6XXX Kalrez 1050LF, 6375 / 8101 / 2037 / 7075 / 8201 / 3018 / 8002 / 8375 / 4079 / 8085 / 9100 • Lam Research Series 490, 590, 4400 and 4520 • Matrix 105, 205, 30