原子力显微分析(AFM).ppt

第七章－2原子力显微术 本章内容 1. 引言 2. AFM工作原理 3. AFM不同操作模式 4. 纳米材料研究 中的AFM 1. 引言 1. 引言 原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM)是继STM之后的又一种具有原子级分辨率的表征仪器，已广泛应用于诸多纳米科学以及相关学科的研究领域，成为纳米科学研究的基本工具。 1. 引言 尽管STM有着现代许多表面分析仪器所不能比拟的优点，但由其工作原理所造成的局限性也是显而易见的，它不能用来直接观察研究绝缘体样品和有较厚氧化层的样品。为了弥补这一不足，1986年Binnig，Quate和Gerber发明了第一台AFM。 1. 引言 AFM利用原子之间的范德瓦尔斯力(Van Der Waals Force)作用来呈现样品的表面形貌，其横向分辨率可达0.15nm，纵向分辨率可达0.05nm。 AFM应用范围比STM更广泛，除可以研究导体、半导体、绝缘体材料的表面形貌和结构外，还可以研究材料的弹性、塑性、硬度、摩擦力等微区性质。 1. 引言 AFM针尖可作极微小移动，这个性质被用来做“纳操作”(nano manipulation)。可以用于操纵(拨动)分子、原子，进行纳米尺度的结构加工和超高密度信息存储。 和STM一样，AFM实验既可在超高真空中、也可在大气、溶液以及反应性气氛等环境中进行。 1. 引言 利用AFM技术，1987年Quate等人获得了高序热解石墨(HOPG)和高序热解氮化硼(HOPBN)表面的高分辨原子图像，其中HOPBN是第一个用AFM获得原子分辨图像的绝缘体。 金原子AFM图像 2. AFM工作原理 2 AFM工作原理 AFM上装有一个对力非常敏感的探针，它利用探针针尖与样品表面原子之间微弱的原子间范德瓦尔斯力来研究试样表面特性，其原理如图3-1所示。 2 AFM工作原理 将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，微悬臂另一端的针尖与样品表面轻轻接触。当针尖在样品表面扫描时，测量针尖尖端原子与样品表面原子间的作用力随位置变化，将获得样品表面的信息。 2 AFM工作原理 AFM系统可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。AFM是通过检测微悬臂形变的大小来获得样品表面的图像的，所以微悬臂形变检测至关重要，对形变量的检测须达到纳米级以上。 2 AFM工作原理 图3.16(a)是利用隧道电流检测微悬臂偏转的AFM结构原理图。图中A是AFM的待测样品，B是AFM的针尖，C是STM的针尖，D是微悬臂，又是STM的样品。E是使微杠杆发生周期振动的调制压电晶体，用于调制隧道结间隙，F为氟橡胶。 利用STM的AFM 2 AFM工作原理 利用AFM测量样品的形貌或三维轮廓图的方法如下。使AFM针尖B工作在排斥力F1状态(参看图9-24)，这时针尖相对零位向右移动△z1距离。此后保持STM的Pz固定不变，使AFM样品沿 x，y方向扫描，如样品表面凹下，则杠杆向左方移 2 AFM工作原理 动，于是STM的电流ISTM减小， ISTM控制的放大器立即使AFM的Pz 推样品向右移动以保持ISTM不变，即用ISTM反馈控制AFM的Pz以保持ISTM不变。这样，当AFM样品相对针尖B作x，y方向光栅扫描时，记录AFM的Pz随位置的变化，即可得到样品表面形貌的轮廓图。 3. AFM的成像操作模式 3. AFM的成像操作模式 AFM常用的操作模式有以下五种：接触模式(Contact Mode)、非接触模式(Non-Contact Mode)、轻敲模式(Tapping Mode)、Interleave模式(Interleave Normal Mode/Lift-mode)和力曲线(Force Curve)模式。可根据样品表面不同的结构特征和材料的特性以及不同的研究需要，选择合适的操作模式。 3.1 接触式成像模式 接触模式(Contact Mode)是AFM的常规操作模式，如图3-10(a)。在接触模式中利用的是原子间斥力，针尖和样品之间的距离只有几个埃，产生的范德瓦尔斯力大约0.1～1000nN。 接触模式也