用于承载铷原钟滤光泡的高品质微腔体制备.pdfVIP

106 and 传感器与微系统(Transducer Technologies) 2014年第33卷第5期 Mierosystem 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备木 王婷婷1’。，曾毅波2”，王盛贵1”，魏秀燕1”，毕瑞可1”，郭航21 (1．厦门大学物理与机电工程学院，福建厦门361005； 2．厦门大学萨本栋微米纳米技术研究院。福建厦门361005) 摘要：在芯片级铷原子钟中，需要微腔体来承载Rb-87滤光泡，为此，提出了一种用于制作高品质微腔 体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象，研究中采用了超声腐蚀 技术和凸角补偿技术。首先，分别在纯KOH溶液，并结合搅拌和超声等方法，对(100)硅片进行湿法腐 蚀，并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量，表明运用超声腐蚀技术可以获 得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上，引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明：在 80℃、质量分数为30％KOH、超声频率和功率分别为59kHz和160W的溶液中腐蚀，其{111}腐蚀表面粗 糙度为0．117 p,m，同时条形的长度取1200Ixm时，可以获得平滑规整的微腔体。 关键词：微腔体；铷原子钟；各项异性湿法腐蚀；超声腐蚀；激光共聚焦扫描显微镜；凸角补偿 中图分类号：TH742．64文献标识码：A 文章编号：100019787(2014)05-0106-05 - · ··o●● ● ^ l’ 1一 ● ●●J ●J 一’· tI。abricationOI IorIlltercell IIlgn-qUantVmlCr0·CaVltV n 1●● J ● ■ ● 半 0IrUDldlUmatomlCCIOCK WANG Yi．b02l，WANG Rui．kel”，GUO Ting—tin91一，ZENG Sheng—guil”，WEIXiu—yanl”，BI Han921 of andMechanicalandElectrical (1．SchoolPhysics Engineering，XiamenUniversity，Xiamen361005，China； SahlnstituteofMicro／NanoScienceand 2．Pen．Tung Technology，XiamenUniversity，Xiamen361005，China) rubidiumatomic Rb-87filteris tobeloadedin Abstract：In clock，the chip—scale required micro—cavity，SO side anew forfabricationofthe orderto smooth