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Image J软件测量微弧氧化膜层表面孔隙率、孔径及其厚度的步骤 修改.doc
Image J软件测量微弧氧化膜层
表面孔隙率、孔径及其厚度的步骤
先根据需要测定的照片设定标尺(见附录),后将去除标尺的清晰SEM照片打开,具体步骤:
File → Open → 打开
一、测量表面孔隙率的步骤:
Analyze → Set Measurements → Area, Area Fraction, Limit to Threshold → OK
Image → Adjust → Threshold → Apply → OK
Analyze → Measure → Results
Results → File → Save As → 保存
二、测量表面孔径的步骤:
Analyze → Set Measurements → Area, Circularity, Feret’s Diameter, Limit to Threshold→ OK
Image → Adjust → Threshold → Apply→ OK → Results(在设定灰度值的同时可以改变填充时的颜色)
Analyze → Analyze Particles →Show:Ellipses → OK → Results(检验填充是否合理)
Results → File → Save As → 保存
Results → Distribution → Parameter → Feret → OK → Feret Distribution(对孔径分布给出具体分析)
Analyze → Analyze Particles →Show:Ellipses →μm2): 0-Infinity → OK → Results(孔径测量中下限值的设定)
三、测量膜层厚度的步骤:
1. 将图片改为RGB Color格式
Image → Type → RGB Color
2. 用Pencil Tool在需要测量的膜层厚度处画出直线,直线的宽度可在Pencil Tool工具栏中的Pencil Width中调整,直线的颜色可在Color picker工具栏中选择。当直线画的不准确时,可单击鼠标右键,Undo即可重新画线(仅限于上次操作)。
3. 用Straight line selection 工具在照片中量膜层的厚度 → 按键盘的M键 → Results
(注:直线是否平直,可以看Results 对话框中的Angle 是否为0或者-90, 为0或者-90则说明测量为直线距离,所得数据准确可靠)
4. 可将Results的结果用Text tool工具标在直线上,字体大小可在Fonts工具栏中调整,字体的颜色在Color picker工具栏中选择。然后单击右键选择Fill即可保存,当文本框出现错误时,单击右键Undo即可(仅限于上次操作)。
5. 同步骤1-4重复测量,结果均按次序保存在Results中
6. 保存数据
Results → File → Save As → 保存
7. 保存带直线及结果标记的照片
File → Save As → Jpeg → 保存
附录:
Image J软件标尺设定及其验证
1. 标尺设定的步骤
用Image J软件将带标尺的SEM照片打开,用Straight line selection 工具在照片上画一根与照片标尺完全相同的直线,打开Analyze 中 Set Scale对话框就会出现如图1所示的信息,210为软件测量值,Known Distance中输入标尺显示值10,在Unit of Length中输入μm即可定标,在Global前的方框中打钩即可固定标尺。
图1 SEM照片标尺设定
2. 标尺设定的验证
在设定了不同放大倍数照片的标尺之后,发现只要在Analyze中的 Set Scale对话框(图2)中只需要输入Distance in Pixels 中的数据,与放大倍数相对应的数据如表1所示,并在Unit of Length中输入μm,其他不变。
表1 不同放大倍数的标尺
放大倍数(X) 输入值 200 2.1 500 5.2 800 8.2 1000 10.4 1500 15.8 2000 21
由于SEM本身并不带标尺,是根据SEM标样进行定期校验的,所以其放大倍数和计算的标尺并不一致,本标尺标准是按现有的SEM不同放大倍数照片所带标尺标定的。所以在此仅供对比参考,以自己实际测量为准。
将不同照片根据标尺算出其面积,将其孔数换算为1cm2内的孔数,则符合GBT-17720-99中提到的孔隙率的计算方法。
注:放大倍数越大,1 μm内像素越高,测出来结果越接近真实值,
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